판매용 중고 ASYST 9700-9129-01 #9145872

ID: 9145872
빈티지: 2004
Wafer handler 2004 vintage.
ASYST 9700-9129-01 Wafer Handler는 6, "8" 및 12 "직경 웨이퍼를 포함하여 광범위한 반도체 웨이퍼를 빠르고 안전하게 처리하도록 설계된 전문 도구입니다. 이 도구에는 다양한 설정에 사용할 수 있는 컴팩트하고 가벼운 (lightweight) 디자인이 있습니다. 핸들러는 두 가지 주요 요소 (웨이퍼 홀딩 플랫폼, 웨이퍼 트랜스퍼 암) 로 구성됩니다. 웨이퍼 홀딩 플랫폼 (wafer holding platform) 은 단단한 알루미늄 또는 스테인리스 스틸 (stainless steel) 로 만들어진 플레이트로 웨이퍼에 대한 적절한 지원을 보장합니다. 웨이퍼 트랜스퍼 암 (wafer transfer arm) 은 로봇 암으로, 플랫폼에 부착 된 오픈 엔드 그리퍼가 장착되어 있습니다. 암 (arm) 은 최소한의 접촉과 최소한의 웨이퍼 (wafer) 로 플랫폼에서 웨이퍼를 정확하게 배치하고 제거 할 수 있습니다. 또한 암 (arm) 은 이동 중에 재배치를 위해 웨이퍼를 회전하고 반전시킬 수 있습니다. 9700-9129-01 Wafer Handler는 전기적으로 구동되며, 다양한 전원에서 작동할 수 있습니다. 자동화 기능을 사용하면 '반자동' 또는 '완전 자동' 모드에서 사용할 수 있습니다. 반자동 (Semiautomatic) 모드에서 웨이퍼 핸들러는 연산자에 의해 작동하는 반면, 완전 자동 (Fully Automatic) 모드에서는 웨이퍼 핸들러가 독립적으로 작동하도록 프로그래밍됩니다. ASYST 9700-9129-01 Wafer Handler는 긁거나 깨지 않고 연약한 웨이퍼를 안전하게 처리하도록 설계되었습니다. 정밀 이동 및 정확한 로봇 부품 (robotic component) 은 웨이퍼가 적절하게 정렬되고 한 곳에서 다른 곳으로 안전하게 이동되도록 보장합니다. 웨이퍼 처리 외에도 9700-9129-01 Wafer Handler를 사용하여 웨이퍼를 청소할 수 있습니다. 그것 은 가압 공기 "제트 '를 갖추었는데, 이것 은 이동 하기 전 에" 웨이퍼' 표면 에서 파편 을 날리거나 끌어당기는 데 사용 할 수 있다. ASYST 9700-9129-01 Wafer Handler도 간단한 프로그래밍을 허용합니다. 프로그래머는 wafer number, wafer size, transfer directions, direction order of transfer 등 핸들러의 작업을 제어하기 위해 매개변수를 쉽게 설정할 수 있습니다. 또한 장애 진단 시스템은 9700-9129-01 Wafer Handler에 내장되어 있습니다. 이 시스템은 웨이퍼 처리 프로세스 (Wafer Handling Process) 에서 장애를 감지하고 유지 관리 및 시스템 복구를 용이하게 하도록 설계되었습니다. 전반적으로 ASYST 9700-9129-01 웨이퍼 핸들러 (Wafer Handler) 는 최소한의 손상으로 다양한 반도체 웨이퍼를 처리하고 전송하는 안정적이고 효율적인 방법으로 설계되었습니다. 사용 하기 쉽고, "프로그램 '할 수 있는 기능 으로 많은" 응용프로그램' 을 위한 가치 있는 도구 가 된다.
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