판매용 중고 ASYST 9700-8106-01 #9171660

ASYST 9700-8106-01
ID: 9171660
Loadports Rev A.
ASYST 9700-8106-01 웨이퍼 핸들러 (ASYST 9700-8106-01 wafer handler) 는 반도체 장치의 생산 및 테스트를 돕기 위해 설계된 완전 자동화 및 다용도 웨이퍼 처리 장비입니다. 이 웨이퍼 핸들러 (Wafer Handler) 는 제품 품질 및 반복성을 보장하면서 운영 처리량을 높이고 다운타임을 줄이기 위해 특별히 설계되었습니다. 9700-8106-01 웨이퍼 핸들러는 200mm에서 300mm까지 여러 웨이퍼 크기를 처리 할 수 있으며 ASYST 7400 Series, ASYST Series 9500 및 ASYST Series 1000과 같은 다양한 CASSETTE 전송과 인터페이스 할 수 있습니다. 웨이퍼 핸들러는 또한 웨이퍼를 검사 할 때 추가 정확도를 위해 다양한 다이 (Die) 스캐너를 지원할 수 있습니다. 웨이퍼 핸들러에는 8 단계 FOUP 엘리베이터 시스템이 장착되어 있어 여러 FOUP 의 빠른 로드 및 언로드가 가능하므로 전체 웨이퍼 처리 시간이 단축됩니다. 이 장치에는 또한 FOUP (Wafer Transport Process) 의 웨이퍼 레이블링에 대한 웨이퍼 오류 또는 이상을 감지할 수있는 오류 코드 모니터링 시스템 (Error Code Monitoring Machine) 이 포함되어 있으므로 웨이퍼 전송 프로세스 중 잠재적 오류가 발생하지 않습니다. ASYST 9700-8106-01 웨이퍼 핸들러에는 FOUP 내 환경을 유지하고 가능한 오염을 제거하기위한 특수 통합 FOUP 클리너 (FOUP Cleaner) 가 있습니다. 또한, 웨이퍼 핸들러에는 구성 가능한 웨이퍼 클램핑 툴 (wafer clamping tool) 과 스플라이싱 스테이션 (splicing station) 이 포함되어 있어 웨이퍼 처리 중 전체 다운타임을 줄일 수 있습니다. 9700-8106-01 웨이퍼 핸들러에는 모든 잠재적 사고에 대한 연동 보호 기능이 포함 된 통합 안전 자산이 있습니다. 비상용 정지 (Emergency Stop) 버튼, 완전 밀폐 (Fully Closed) 커버와 같은 다양한 안전 기능으로 설계되어 모델과의 의도하지 않은 접촉을 방지합니다. 이 장비에는 또한 프로세스 감사 시스템 (Process Audit System) 과 일일 성능 보고서 (Performance Report) 가 포함되어 있어 Wafer 생산이 미리 정의된 표준에 맞는지 확인합니다. 전반적으로, ASYST 9700-8106-01 웨이퍼 핸들러는 반도체 장치 제조의 효율성과 생산성을 향상시키기 위해 설계된 고급 웨이퍼 처리 장치입니다. 이 기계는 다양한 웨이퍼 크기, CASSETTE 전송, FOUP 클리너 및 웨이퍼 클램핑 시스템을 지원하여 웨이퍼 처리 중 최대 정확도, 안전 및 안정성을 제공 할 수 있습니다. 이 도구의 기능과 유연성은 반도체 소자 제조에 이상적인 선택이 됩니다.
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