판매용 중고 ASYST 9700-6208-01 #9194811

ASYST 9700-6208-01 웨이퍼 핸들러는 IC 제조 중 웨이퍼 조작 및 수송 프로세스를 자동화하기 위해 설계된 반도체 처리 도구입니다. 이 처리기 는 "웨이퍼 '처리 에 직면 한 많은 문제 들 (예: 낮은 처리량," 웨이퍼' 대기열, 전송 중 "웨이퍼 '의 잘못 배치) 을 해결 하도록 설계 되었다. 핸더는 전면 (Front) 과 후면 (Rear End) 이펙터를 모두 지원하는 기본 프레임으로 구성되며, 웨이퍼 (Wafer) 전송과 웨이퍼 (Wafer) 픽업 및 처리를 제공합니다. 기본 프레임에는 최종 이펙터가 움직일 수있는 컨트롤러 및 지원 액츄에이터도 있습니다. 최종 이펙터에는 2 개의 웨이퍼 처리 메커니즘 (진공 흡입 컵 및 웨이퍼 도구) 이 장착되어 있어 완벽한 웨이퍼 이동을위한 웨이퍼 조작이 용이합니다. 9700-6208-01은 모션 컨트롤 카드로 구동됩니다. 모션 컨트롤 카드 (motion control card) 는 스테퍼 모터를 사용하여 최종 이펙터 및 웨이퍼의 정확한 위치와 움직임을 확인합니다. 이 스테퍼 모터는 두 가지 버전으로 제공됩니다. (1) 더 높은 토크와 램프 및 위치 지정 응용 프로그램의 경우 더 긴 스트로크를, (2) 빠르고 안정적인 웨이퍼 전송을 위해 빠른 속도와 짧은 스트로크를 제공합니다. 스테퍼 모터의 두 버전 모두 온도 보상, 반복 가능한 모션 제어를 위해 설계되었습니다. 웨이퍼 핸들러에는 웨이퍼 핸들링을위한 내장 안전 시스템도 있습니다. 안전 장치 (Safety System) 에는 웨이퍼 전송을 방해하는 센서가 있습니다. 예기치 않은 차단 또는 장애물이 발생할 경우, 센서가 인터록 (interlock) 에 연결되어 스테퍼 모터 (stepper motor) 및 최종 이펙터 (end-effector) 에 전원을 차단합니다. 또한, "웨이퍼 핸들러 '는 처리 중 에 예기 치 않은 양 의 열 이나 압력 이 있을 때" 센서' 를 감지 한다. ASYST 9700-6208-01 웨이퍼 핸들러는 IC 제조를 위한 효율적이고 안정적인 도구입니다. 대기 (queuing) 및 잘못된 배치 (misplacement) 를 줄이고 수동 웨이퍼 조작이 필요 없는, 반복 가능한 웨이퍼 전송 및 처리 프로세스를 제공합니다. 통합 안전 시스템 (Integrated Safety System) 은 프로세싱하는 동안 차단 (Blockage) 및 과도한 열 (Heat) 을 방지하여 웨이퍼와 도구 자체에 대한 잠재적 손상을 방지합니다.