판매용 중고 ASYST 9700-6200-01 #9153699

ASYST 9700-6200-01은 최대 75mm/s의 속도로 작동 할 수있는 완전 자동 웨이퍼 핸들러입니다. 그 설계 는 "레이저 '유도 장치 와 효율적 이고 정확 한" 웨이퍼' 처리 를 가능 케 하는 진동 감소 장치 로 특징 을 이룬다. 9700-6200-01은 3 가지 주요 요소 (컨베이어, 로봇 암 및 웨이퍼 카세트) 로 구성됩니다. 컨베이어에는 2 개의 독립적 인 동력 축이 있으며, 인코더가 통합되어 정확한 웨이퍼 위치가 가능합니다. 컨베이어는 또한 웨이퍼 처리 중 원치 않는 진동이 발생하지 않도록 하는 진동 격리 프레임 (vbration isolation frame) 에 의해 보완됩니다. ASYST 9700-6200-01은 통합 로봇 암 (유지 보수 제로 (zero-maintenance) 선형 모터 구동 로봇) 에 의해 운영됩니다. 근접 센서를 기준으로 위치 측정을 통해 높은 정확도 이동을 허용합니다. 로봇 암은 또한 웨이퍼 처리 시스템 (wafer handling system) 에 의해 보완되어 웨이퍼의 동시 검색, 전송 및 후퇴가 가능합니다. 9700-6200-01의 웨이퍼 카세트 (wafer cassette) 는 유연성을 향상시키고 다양한 머신 구성에 쉽게 맞는 로우 프로파일 (low-profile) 설계를 갖추고 있습니다. 또한 눈부심 방지 패널 (Anti-Glare Panel) 을 장착하여 원치 않는 빛으로부터 민감한 웨이퍼를 보호하며, 손쉬운 웨이퍼 로딩 및 언로드를 위해 설계되었습니다. 전반적으로 ASYST 9700-6200-01은 다양한 응용 프로그램에 적합한 고급적이고 효율적인 웨이퍼 핸들러입니다. 진동 감소, 레이저 유도, 유연한 로봇 암 (robotic arm) 으로, 웨이퍼를 처리하면서 높은 정확성과 속도를 제공합니다. 또한, 독특한 웨이퍼 카세트 디자인은 웨이퍼가 최대 (maximum care) 및 안전 (safety) 으로 제대로 인코딩되고 처리되도록 보장합니다.