판매용 중고 ASYST 9700-6148-01 #9392637

ID: 9392637
빈티지: 2002
Loadports 2002 vintage.
ASYST 9700-6148-01 웨이퍼 핸들러는 반도체 웨이퍼 전송, 정렬 및 장착 프로세스를 자동화하도록 설계된 장치입니다. 반도체 산업을 위한 높은 처리량을 제공하는 산업용 웨이퍼 (wafer) 처리 장비다. 이 장치에는 반도체 웨이퍼의 정확한 위치와 정확한 정렬을 제공하는 6 축 전동 운송 시스템이 있습니다. 안전하고 안전하게 6 "에서 8" 까지 광범위한 반도체 웨이퍼 직경을 전송하고 정렬 할 수 있습니다. 이 장치는 스캔 기계, 비전 도구 및 컨베이어 자산으로 구성됩니다. 스캐닝 모델은 각 웨이퍼의 세부 이미지를 캡처하는 데 사용됩니다. 이 "이미지 '는 각" 웨이퍼' 의 위치 와 방향 을 계산 하기 위해 시력 장비 에 의해 분석 된다. 일단 이러 한 "파라미터 '가 결정 되면" 컨베이어' 장치 는 정확 하게 그리고 재빨리 장치 를 따라 "웨이퍼 '를 움직 일 수 있다. 9700-6148-01 웨이퍼 핸들러는 처리량을 최대화하고 웨이퍼 손상을 최소화하도록 설계되었습니다. 동적 웨이퍼 추적 (Dynamic Wafer Tracking), 저압 전송 (Low-Pressure Transfer) 및 포이즈 핀 정렬 머신과 같은 다양한 고급 기능이 장착되어 있습니다. 이 도구는 wafer misalignment 또는 imperty orientation (높은 정확도) 을 감지하고 wafer를 목적지로 전송하기 전에 위치 지정의 부정확성을 교정할 수 있습니다. 이 장치는 또한 처리 주기 내내 웨이퍼 (wafer) 무결성을 보장하는 포괄적인 안전 자산을 갖추고 있습니다. 이 "센서 '에는 잠재적 인 충돌 을 탐지 하기 위한" 센서' 가 장착 되어 있으며 시정 조치 를 취하도록 "프로그램 '될 수 있다. 비상 사태의 경우 빠른 종료를 위해 비상 안전 정지 (Emergency Safe Stop) 모델도 포함되어 있습니다. 이 장치는 사용자 정의가 용이하며, 수동, 반자동, 완전 자동 프로세스 등 다양한 작동 모드에서 작동하도록 프로그래밍할 수 있습니다. 많은 유형의 로봇, 로더 암 및 증착 시스템과 호환성이 높습니다. 이 장비는 높은 활용도 환경에 설치되어 생산성을 극대화하고 비용을 최소화할 수 있도록 설계되었습니다. 결론적으로, ASYST 9700-6148-01 웨이퍼 핸들러는 다양한 반도체 웨이퍼를 안전하고 효율적으로 전송, 정렬 및 장착 할 수있는 고급 산업용 웨이퍼 처리 시스템입니다. 높은 활용도 (HI) 환경을 위한 이상적인 장치로, 안전성과 정확성이 극대화된 높은 처리량 솔루션을 필요로 합니다.
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