판매용 중고 ASYST 9700-6148-01 #9095779

ASYST 9700-6148-01은 반도체 산업에서 8 인치 웨이퍼를 처리하기위한 로봇 웨이퍼 핸들러입니다. 클래스 100 클린 룸 (Class 100 cleanroom) 환경에서 작동하도록 설계되었으며 베이킹, 프로브, 측정 및 정렬 작업을 포함한 웨이퍼 처리 이외의 많은 작업에 적합합니다. 웨이퍼 핸들러는 메인 로봇 어셈블리, 오토 샘플러 리프트 유닛 및 비전 장비, 에어 밸브, 밸브 어셈블리, 비전 시스템 등 여러 주변 장치로 구성됩니다. 중앙 로봇 암 (Central robotic arm) 은 3 개의 축 모두를 따라 정밀 운동이 가능하여 최대 직경 200mm 인 웨이퍼를 빠르고 정확하게 조작 할 수 있습니다. 자동 샘플러 리프트 장치 (autosampler lift unit) 는 수직 방향으로 8 인치 웨이퍼의 일관되고, 반복 가능하며, 제어되는 이동을 제공하여 웨이퍼 핸들러에서 효율적으로 로드하고 언로드할 수 있습니다. 9700-6148-01 웨이퍼 핸들러 (wafer handler) 는 처리 전후 웨이퍼에서 웨이퍼 검사 및 측정 프로세스를 수행하는 비전 시스템을 갖추고 있습니다. 비전 유닛 (Vision Unit) 은 강력한 확대/축소, 기록 및 분석 기능을 갖추고 있으며, 다양한 조명 방법을 통해 다양한 검사 및 측정 작업을 수행할 수 있습니다. 웨이퍼 핸들러의 주변 구성 요소는 그 기능에 더 기여합니다. 공기 밸브를 사용하면 프레임 간 챔버 동작 (frame-to-frame chamber motion) 및 웨이퍼 전송 자동화 (automation of wafer transfer) 가 가능하며 밸브 어셈블리는 웨이퍼 위치를 정확하게 선택하고 조작할 수 있습니다. 비전 시스템은 전송 작업 중에 사용되어 웨이퍼 위치를 확인하고 스퍼터링 (sputtering), 오염 (contamination) 및 에지 (edge) 손상이 없는지 확인합니다. 마지막으로 ASYST 9700-6148-01 (ASYST 9700-6148-01) 은 클린 룸 환경에서 웨이퍼 처리 작업을 수행할 수 있는 안정적이고 견고한 머신으로 설계되었습니다. 이러한 요구 사항을 충족시키기 위해 구성 요소, 통신 머신 (Communication Machine), 프로세스 제어 소프트웨어 (Process Control Software) 는 최고의 웨이퍼 처리 및 처리 표준을 충족하도록 특별히 설계 및 테스트되었습니다.