판매용 중고 ASYST 9700-4680-01 #293759894

ASYST 9700-4680-01 (ASYST 9700-4680-01) 은 다양한 기판을 안정적이고 안전하게 전송하도록 설계된 웨이퍼 핸들러입니다. 최대 300mm 직경의 웨이퍼를 처리 할 수 있습니다. 이 웨이퍼 핸들러는 AC 서보 모터, 정밀 슬라이드 테이블, 인코더로 구성된 고정밀 선형 (high precision linear) 모터 장비를 기반으로 합니다. 고급 선형 모션 컨트롤 시스템 (Linear Motion Control System) 은 웨이퍼 전송 작업뿐만 아니라 정확하고 반복 가능한 웨이퍼 처리 시스템을위한 안정적인 플랫폼을 보장합니다. 이 웨이퍼 핸들러 (Wafer Handler) 에는 운영 인터페이스 (Operator Interface) 와 비정상적인 고속, 외부 재료 및 비정상적인 속도 작동을위한 감지 시스템 (Detection System) 이 포함 된 통합 모니터링 장치가 장착되어 있습니다. 또한 온/오프 트랙 웨이퍼에 대한 보호를 제공합니다. 검출 시스템은 모든 표면 이상을 탐지할 수 있으며, 웨이퍼 (wafer) 가 전송되는 것을 막을 수 있습니다. 9700-4680-01은 웨이퍼 처리를 위해 효율적인 진공 및 기계 그리핑 머신을 사용합니다. 높은 정밀도 선형 모터를 사용하여 X 및 Y 축에서 움직이는 웨이퍼 그립 플레이트가 있습니다. 또한 높은 진공 압력에 의지하지 않고 웨이퍼를 확보 할 수있는 삽입/수집 (insert/collect) 처리 메커니즘이 포함되어 있으므로 불필요한 웨이퍼 손상을 방지합니다. "웨이퍼 '처리기 에는" 오퍼레이터' 가 어떤 위험 한 환경 에 노출 되지 않도록 하는 적외선 안전 도구 가 있다. 저온 베이킹 (low temperature baking) 작업뿐만 아니라 양압 (positive) 과 음압 (negative pressure) 환경 모두에서 작동 (operation) 을 제공 할 수 이 웨이퍼 핸들러 (Wafer Handler) 에는 잠재적 장애를 감지하고 문제의 운영자에게 경고하도록 설계된 진단 소프트웨어가 포함되어 있습니다. 또한 웨이퍼 전송 (wafer transfer) 작업에 대한 동적 속도 제어가 포함되어 있어 프로세스 반복성이 크게 향상됩니다. 또한, 이 wafer 처리기에는 향후 참조를 위해 모든 프로세스 조건과 wafer 크기 정보를 저장하는 통합 데이터 스토리지 (integrated data storage) 자산이 있습니다. 이 모델은 또한 기록 데이터를 모니터링하고 웨이퍼 처리 프로세스 (wafer handling process) 의 추적성을 향상시키는 데 사용될 수 있습니다. ASYST 9700-4680-01 (ASYST 9700-4680-01) 은 신뢰할 수 있고 사용자 친화적인 웨이퍼 핸들러로, 다양한 어플리케이션에 적합합니다. 이 제품은 효율적이고, 정확하며, 반복 가능한 웨이퍼 (wafer) 처리 기능을 제공하도록 설계되었으며, 다양한 유형의 기판 및 응용 프로그램에 신속하게 적응할 수 있습니다.