판매용 중고 ASYST 9700-4631-01 #9143373

ASYST 9700-4631-01은 자동 재료 처리에 사용되는 웨이퍼 핸들러입니다. 진공 내 (in-vacuum) 및 비 진공 (non-in-vacuum) 모션 기능을 모두 갖추고 다양한 웨이퍼 유형을 정확하게 배치하고 수집합니다. 이 장비는 정교한 웨이퍼 스테레오 그래피 (wafer stereography) 기술을 사용하여 기판 운반 전극에서 여러 웨이퍼를 정확하게 정렬합니다. 이를 통해 여러 웨이퍼를 신속하게, 그리고 낮은 오류 속도로 수동으로 반자동 (semi-automated) 방식으로 로드하고 언로드할 수 있습니다. 9700-4631-01은 웨이퍼 모서리, 위치 및 방향을 감지하는 비전 기반 센서를 사용합니다. 이러 한 "센서 '는 동작 조절" 시스템' 과 결합 되어 "웨이퍼 핸들러 '가 기판 에 여러 개 의" 웨이퍼' 를 정확 하게 배치 하고 기판 으로 정확 하게 이동 시킬 수 있다. 이를 통해 장치가 한 패스의 결합 (bonding) 및 증착 도구 (deposition tools) 와 같은 여러 공구 유형 간에 빠르고 정확하게 웨이퍼를 이동할 수 있습니다. ASYST 9700-4631-01에는 시스템 프로그래밍 및 제어를 위해 마우스 제어 사용자 인터페이스가 제공됩니다. 여러 강력한 소프트웨어 패키지를 사용하여 이 도구를 프로그래밍 및 제어할 수 있습니다. 또한 웨이퍼 핸들러는 뛰어난 신뢰성을 제공합니다. 유지 보수가 최소화되어 장기간에 걸쳐 작동하도록 설계되었습니다. 9700-4631-01은 구성 가능하며 카메라 에셋, 자동 도어, 조절 가능한 기판 단계 등 여러 액세서리를 포함합니다. 또한 로드맵 모듈 (loadmap module) 을 통해 사용자가 이미 로드된 여러 웨이퍼의 프로그래밍 가능한 위치, 매개변수, 구성 데이터를 정의하고 업데이트할 수 있습니다. 이 모델은 다른 많은 웨이퍼 처리 솔루션 (wafer handling solutions) 에 비해 설치 공간이 작아 공간 제한 시설에 적합합니다. 또한, 이 장비는 단일 암 (single arm) 로봇 또는 다중 암 (multiple arm) 로봇과 함께 사용하도록 설계되어 다양한 처리 환경에 쉽게 통합 될 수 있습니다. ASYST 9700-4631-01은 반도체에서 생의학 장치 (biomedical devices) 에 이르기까지 다양한 산업에서 다양한 작업을 처리하기 위해 사용됩니다.