판매용 중고 ASYST 6900-1551-01 #9153700

ASYST 6900-1551-01은 다양한 반도체 제작 프로세스를 위해 설계된 최첨단 웨이퍼 처리 로봇입니다. 이 제품은 와퍼를 빠르고 정확하게 전송, 정렬, 조작할 수 있는 완전 자동화 장비입니다. "로봇 '은 품질 관리 를 향상 시키면서 생산성 을 극대화 하고, 취급 중 에" 웨이퍼' 의 손상 을 최소화 하도록 설계 되었다. 6900-1551-01에는 정확하고 정확한 동작 제어를 위한 서버 모터가 내장된 직관적인 내장 컨트롤러가 포함되어 있습니다. 로봇은 엔드 이펙터 이동, 엔드 이펙터 클램핑 및 그립 릴리즈, 웨이퍼 픽업, 웨이퍼 배치 등 4 가지 별개의 작업을 수행합니다. wafer support station과 robot arm의 두 가지 주요 구성 요소가 있습니다. 웨이퍼 지원 스테이션 (wafer support station) 은 웨이퍼 로드, 언로드 및 검사를 위해 쉽고 편리한 플랫폼을 제공하며, 팁 또는 벨트 접촉으로 인한 웨이퍼 손상을 방지합니다. 로봇 암은 5 축 프로그래밍 가능한 모션과 정밀 웨이퍼 조작을 보장하는 정밀 인코더로 설계되었습니다. ASYST 6900-1551-01은 최대 150 웨이퍼 로딩 용량의 자동 웨이퍼 스테이징 시스템을 제공합니다. "웨이퍼 '는 자동으로" 스태이징' 장치 에 스풀링 되어 "웨이퍼 '를 수동 으로 적재 및 언로드 할 필요 가 줄어든다. "로봇 '은 손상 을 피하면서 최대 속도 로" 웨이퍼' 를 잡아 옮기도록 설계 되었다. 또한 wafer 오정 조정을 감지하고 결함을 제거하기위한 자동 오류 점검 기능도 포함되어 있습니다. 6900-1551-01 (6900-1551-01) 은 더 높은 처리량을 제공하면서 시간과 비용을 줄이는 컴팩트하고 견고한 기계입니다. 로봇의 통합 서보 모터 (servomotor) 와 인코더 (encoder) 는 정확한 동작 제어를 제공하며, 웨이퍼를 최소화하면서 처리 속도를 높입니다. 웨이퍼 로딩 스테이션은 편안한 작동을 위해 조정 가능한 레버로 인체 공학적으로 설계되었습니다. "로봇 '은 직관적 인" 인터페이스' 를 갖추고 있어서 "로봇 '의 작업 과 설정 을 쉽게 제어 할 수 있다. ASYST 6900-1551-01 (ASYST 6900-1551-01) 은 반도체 제작 프로세스에 최적의 정확도, 속도 및 신뢰성을 제공하는 고급적이고 안정적인 웨이퍼 처리 로봇입니다. 자동화된 웨이퍼 로딩 (wafer loading), 빠른 동작 제어 (fast motion control), 직관적인 인터페이스 (intuitive interface) 를 갖춘 이 로봇은 자동화된 프로세스 제어를 위한 효율적이고 비용 효율적인 솔루션을 제공합니다.