판매용 중고 ASYST 300FL #9255542

ASYST 300FL은 반도체 산업에서 사용하도록 설계된 웨이퍼 핸들러입니다. 융통성 있고 자동화된 장비로, 웨이퍼 (Wafer) 전송 및 처리에 필요한 가장 많은 요구 사항을 충족시키기 위해 개발되었습니다. 300FL은 일련의 병렬 로봇 암 (robot arm) 단계를 활용하여 프로세스 스테이션 사이에 고속 로딩, 언로드 및 여러 웨이퍼를 전송하는 한편, 베어 (bare), 범프 (bumped) 및 패키지된 웨이퍼를 정확하고 안전하게 처리 할 수있는 다중 형식 설계를 제공합니다. ASYST 300FL의 로봇 암은 저속, 고속 토크, 저소음 성능을 제공하는 직접 구동 모터로 구동됩니다. 이를 통해 전체 웨이퍼 전송 시스템에서 정확한 속도 및 동작이 가능하며, 최고 속도는 200mm/s, 반복 속도는 ± 0.5mm입니다. "로봇 '암 의 3 축 이동 은 장치 에 심한 민첩성 을 부여 해 주며," 컨트롤' 은 잘 구성 할 수 있고 "프로그래밍 '가능 하여 연산자 들 이 운동 을 프로세스 요구 조건 에 맞게 조정 할 수 있다. 선택적 "웨이퍼 '" 카세트' 스테이징 스테이션 을 사용 하면, 연산자 들 은 공정 주기 를 완전 히 제어 하고 "카세트 '의 특정 한 위치 에서 가져와야 할" 웨이퍼' 의 종류 를 지정 할 수 있다. 총 300FL은 스테이징 스테이션에 위치한 최대 4 개의 카세트에 최대 100 개의 웨이퍼 (125mm 또는 150mm) 를 수용 할 수 있습니다. 자동화된 생산 주기는 사이클 당 최대 22 개의 개별 단계 (discrete steps per cycle) 로 실행할 수 있으며, 이 시스템은 복잡한 포장 및 범핑 프로세스에 이상적입니다. ASYST 300FL에는 웨이퍼 처리 도구 (wafer handling tool) 외에도 반도체 제작을위한 매력적인 솔루션으로 다양한 기능이 포함되어 있습니다. 에셋은 모델 제어를 용이하게 하는 이더넷 (Ethernet) 연결을 포함하며, 직관적인 GUI (Graphical User Interface) 와 함께 제공되므로 운영자가 장비를 신속하게 구성하고, 테스트를 실행하며, 시스템 정보를 볼 수 있습니다. 또한, 이 장치에는 연동 안전 클래딩, 비상 정지 스위치, 여러 개의 독립 안전 하위 시스템과 같은 고급 안전 기능이 포함되어 있습니다. 전체적으로, 300FL은 반도체 산업을위한 안정적이고 유연한 웨이퍼 핸들러입니다. 이 기계는 고속, 정밀, 안전한 성능 덕분에, 강력한 기능과 성능을 결합하여 복잡한 웨이퍼 (Wafer) 전송 및 처리 작업을 위한 매력적인 솔루션이 됩니다.