판매용 중고 ASYST 300FL #9255541

ASYST 300FL은 반도체 제조 시설에서 효율적이고 정확한 웨이퍼 전송을 가능하게하도록 설계된 웨이퍼 핸들러입니다. 핸들러 (handler) 는 웨이퍼가 전문적이고 안전하게 로드, 언로드 및 운송되도록 함께 작동하는 여러 구성 요소로 구성됩니다. 웨이퍼 로더는 표준 FOUP (Front Opening Unified Pod) 에서 프로세스 챔버로 웨이퍼를 로드하는 데 사용됩니다. 선형 스테이지 (Linear Stage) 와 퍽 로더 (Puck Loader) 는 FOUP의 웨이퍼를 올바르게 픽업하여 미립자 오염을 피하고, 최대 처리량을 위해 웨이퍼 스택의 중심을 빠르게 찾을 수 있습니다. 웨이퍼 어댑터 (Wafer Adapter) 는 운송을 위한 안정적인 플랫폼을 제공하며, 웨이퍼가 전송 중에 수평 (Level) 으로 유지되도록 합니다. 웨이퍼 언로더를 사용하면 카세트 또는 상자 (정밀도 및 속도) 에 웨이퍼를 제거하고 배치할 수 있습니다. 언로더에는 부분적으로 적재 된 웨이퍼에 부드럽게 고정되는 대형 로봇 암 (robotic arm) 이 장착되어 있습니다. "로봇 '암 은" 웨이퍼' 를 쌓고 내리도록 계획 되어 있다. 언로더는 여러 개의 언로더 (unloader) 도구를 장착할 수 있으므로 열 손상 또는 파손의 위험없이 모든 크기와 두께의 웨이퍼를 로드하고 언로드할 수 있습니다. 웨이퍼 트랜스포터 (wafer transporter) 는 프로세스 챔버 (process chamber) 의 다른 스테이션 간에 신속하게 웨이퍼를 이동하는 데 사용되며, 다운타임을 최소화하면서 처리량을 증가시킬 수 있습니다. 이 "웨이퍼 핸들러 '에는 고속 수송기 가 장착 되어 있는데, 이것 은 이동 중 의 손상 을 피하기 위해" 웨이퍼' 를 정확 하게 집어 넣도록 설계 되었다. 수송기 는 또한 "웨이퍼 '를 적절 한 위치 에 두어 미립자 오염 의 위험 을 감소 시킨다. 300FL 핸들러는 강력하고, 모든 금속 프레임 구조로 설계되었으며, 부식에 강하고, 오래 지속됩니다. 직관적 인 "소프트웨어 '를 사용 하여" 핸들러' 를 "프로그램 '하고 모니터링 할 수 있으므로 특정 한 필요 에 따라" 웨이퍼' 처리 과정 을 사용자 정의 할 수 있다. 또한 모듈식 (Modular) 설계를 통해 핸들러 (Handler) 가 레이아웃에 맞게 사용자 정의할 수 있으며, 구성 요소를 쉽게 수정하거나 교체할 수 있습니다. ASYST 300FL 웨이퍼 핸들러 (ASYST 300FL wafer handler) 는 웨이퍼의 로드, 언로드 및 운송을 정확성과 속도로 가능하게하면서 열 손상 또는 오염 위험을 줄입니다. 이 "웨이퍼 '처리기 는 안정적 이고 효율적 인 설계 로 반도체" 웨이퍼' 제조 산업 의 산업 생산 "라인 '에 적합 하다.