판매용 중고 ASYST 300FL #9255540

ASYST 300FL은 반도체 웨이퍼 (IC) 의 집적 회로 (IC) 제작을 위해 특별히 설계된 자동 웨이퍼 처리 장비입니다. 300FL은 정확하고 안정적인 웨이퍼 전송 및 정렬 작업을 제공하는 고정밀 장치입니다. 신속한 초기화 및 유연한 작동을 가능하게 하는 전용 2차원 (2D) 웨이퍼 전송 모듈을 사용합니다. ASYST 300FL은 표준화 된 알고리즘을 사용하여 웨이퍼 정밀 정렬 및 배치를 수행하는 비전 시스템을 사용합니다. 이 장치는 최대 1.5 도 (1.5 m) 의 정확도를 달성 할 수 있으므로 섬세한 제작 프로세스에 적합합니다. 비전 머신은 또한 광범위한 웨이퍼 배치, 회전 및 핀쿠션 보정 기능을 제공합니다. 또한 300FL에는 웨이퍼 처리량을 모니터링하고 도구의 성능을 향상시키는 일련의 인사이트 (in-situ) 센서가 장착되어 있습니다. ASYST 300FL의 유연성은 재구성 가능한 설계를 통해 더욱 확장되었습니다. 다른 웨이퍼 크기를 수용하고 최대 2 개의 웨이퍼를 동시에 처리하도록 쉽게 재구성 할 수 있습니다. 따라서 처리량이 늘어나고 용량이 늘어납니다. 또한, 견고한 설계는 높은 안정성과 긴 제품 수명을 보장합니다. 300FL은 캐리어 카세트와 처리 기계, 또는 모듈 사이에서 웨이퍼를 전송 할 수 있습니다. "웨이퍼 '취급 자산 은 몇 분 내 에" 와퍼' 를 "카세트 '안팎으로 옮길 수 있다. 또한 자동/수동 로드 및 웨이퍼 언로드 옵션을 제공합니다. ASYST 300FL은 IC 제작 프로세스에 걸쳐 많은 기존 시스템과 상호 작용하도록 설계되었습니다. 모델 매개변수에 쉽게 액세스할 수 있는 직관적인 사용자 인터페이스 (user interface) 가 제공됩니다. 또한, 운영 환경에서 다른 기기와의 통합을 용이하게 하기 위해 제어 및 통신 프로토콜이 포함됩니다. 300FL은 최고 효율에서 수행하고 운영자의 개입을 최소화하도록 설계되었습니다. 장비는 운영 매개변수 (operational parameter) 를 독립적으로 모니터링하고 이러한 매개변수를 운영자에게 보고할 수 있습니다. 즉, 시스템의 품질과 운영에 대한 귀중한 통찰력을 제공하며, 높은 수준의 처리 속도 (throughput) 를 유지하면서 낮은 수준의 다운타임 (down-time) 을 보장할 수 있습니다.