판매용 중고 ASYST 300FL #46075
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ID: 46075
new Front end with Robot Controller track, load pods, pre aligner. All SW and HW, mates with KLA products AIT XUV, or AIT UV, or PUMA 9000 or ATI III, or AIT XP.
ASYST 300FL Wafer Handler는 반도체 제조 처리를 위해 설계된 특수 로봇 암입니다. 이 장비는 사전 프로그래밍 된 처리 스테이션 (preprrogrammed processing station) 에서 와퍼를 정확하고 일관되게 배치하기 위해 정확한 로봇 이동을 제공합니다. 웨이퍼 핸들러 (wafer handler) 는 선형 (linear) 과 회전 (rotational) 을 포함한 조정 된 일련의 동작을 사용하여 처리 중 웨이퍼를 정확하고 안정적으로 이동합니다. 처리기는 고속, 반복 가능한 동작을 제공하며, 웨이퍼를 200 밀리초 이내에 정확하게 배치할 수 있습니다. 이 장치에는 최대 300mm 웨이퍼를 처리 할 수있는 엔드 이펙터 암이 장착되어 있으며, 정확도는 +/- 25 미크론입니다. 이 처리기는 모듈식 (modular) 아키텍처를 가지며 특정 애플리케이션 요구 사항을 충족하도록 사용자 정의할 수 있습니다. 모듈 식 디자인은 다양한 옵션을 수용 할 수도 있습니다. 1 ~ 4 개의 웨이퍼를 동시에 처리 할 수 있으며, 정렬을 위해 추가 센서를 사용하여 유선 (wire) 할 수 있습니다. 전체 시스템은 우수한 웨이퍼 처리 성능을 위해 PLC (Plc and Simple Mechanical Structure) (여러 센서 및 제한 스위치 포함) 에 의해 제어됩니다. 300FL 웨이퍼 핸들러 (300FL Wafer Handler) 는 열악한 환경 운영을 위해 설계되었으며 반도체 처리를 위한 탁월한 성능을 제공합니다. 거의 모든 온도 및 습도 범위에서 작동 할 수 있습니다. 그 에 더하여, 그 설계 는 먼지, 수분, 기타 환경 오염 물질 에 대한 높은 수준 의 보호 를 보장 해 주며, 그 로 인해 안정적 이고 믿을 만한 수술 이 가능 합니다. 이 장치에는 유지 보수 및 수리 서비스를위한 자체 진단 장치도 내장되어 있습니다. 전반적으로 ASYST 300FL 웨이퍼 핸들러 (ASYST 300FL Wafer Handler) 는 반도체 생산 중 정확하고 일관된 웨이퍼 처리를 위해 설계된 강력한 도구입니다. 정확성, 안정성, 수명을 고려하여 설계되었으며, 다양한 옵션과 맞춤형 구성요소를 제공합니다. 고급 설계를 통해 밀리초 (밀리초) 이내에 웨이퍼 (wafer) 를 정확하게 배치하여 고성능, 능률적, 자동화된 생산 프로세스를 구현할 수 있습니다.
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