판매용 중고 ASYST 300FL #293753078

ASYST 300FL 웨이퍼 핸들러는 포괄적이고 정확한 웨이퍼 자동화 솔루션입니다. ASYST Technologies (ASYST Technologies) 에서 제공하는 최신 장비이며 프로세스 자동화 및 워크플로우 최적화를 위한 다양한 기능을 제공합니다. 300FL 웨이퍼 핸들러 (300FL Wafer Handler) 는 소스에서 대상 웨이퍼까지 완전히 정밀하게 지원하여 여러 웨이퍼 유형과 크기를 관리하도록 설계되었습니다. 또한 통합 인터페이스를 통해 웨이퍼 처리 작업을 정확하게 제어할 수 있습니다. "웨이퍼 핸들러 '에는 까다로운 반도체 산업 의 필요 를 충족 시키도록 설계 된 여러 가지 특징 이 들어 있다. 이러한 기능에는 공기-화재 응용 프로그램을위한 400ou 대기 챔버, 정확한 그립핑을위한 정밀 클램핑, 프로그래밍 및 설정을위한 GUI (Graphical User Interface), 정확한 타겟팅을위한 스캐닝 시스템, 손쉬운 설치를위한 망원경 레일 유닛 및 필요에 따라 다양한 구성 요소. 이 기계에는 특허를받은, 현장 교체 가능한 항공 우주 등급 유체 액추에이터 (fluidic actuator) 도구가 포함되어 있으며, 반복 가능한 정확성과 위치 지정으로 정확하고 반복 가능한 웨이퍼 전송이 가능합니다. 이 웨이퍼 핸들러에는 도어 개폐 (door opening), 챔버 입력 (chamber entry), 샘플 작업 (sample engagement) 및 기타 관련 작업에 대한 정밀한 수준의 전력을 생성하는 고급 레이저 전원 제어 자산이 장착되어 있습니다. 높은 수준의 정확성을 위해 웨이퍼 핸들러에는 2 축 팁 틸트 (tip-tilt) 모델도 포함됩니다. 자동화된 웨이퍼 전송 (automated wafer transfer) 및 정밀한 전원 제어 (power control) 와 결합하면 장비는 높은 수준의 반복 가능성과 정확성을 제공합니다. 또한 ASYST 300FL에는 사용자 및 시스템 안전을위한 여러 안전 기능을 갖춘 고급 통합 안전 (Integrated Safety) 패키지가 포함되어 있습니다. 이러한 기능에는 핀칭을 방지하기위한 동심원 호 탐지 장치, 밀폐 인클로저를위한 솔레노이드 안전 잠금 장치, 문 및 뚜껑을 폐쇄하기위한 안전 센서, 걸레를 방지하고 갇힌 조각을 방출하기위한 챔버 진입점 (chamber entry point) 이 포함됩니다. 웨이퍼 핸들러 (Wafer Handler) 는 다양한 업계 표준을 준수하도록 설계되었으며, 다양한 환경에 맞게 여러 구성으로 제공됩니다. 300FL은 포괄적이고 정밀한 웨이퍼 (wafer) 자동화 솔루션으로, 안정적인 웨이퍼 전송과 정밀한 전원 제어를 제공합니다. 이 제품은 칩 제조업체가 반복 가능한 정확성과 탁월한 효율성으로 높은 수준의 수율을 관리하고 달성 할 수 있도록 설계되었습니다 (영문).