판매용 중고 ASYST 2150 #145900
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ID: 145900
SMIF arms
Configuration:
Motor:
Elevt axis motor
Platform axis motor
Rotate axis motor
Tilt axis motor
Pod lock/unlock motor
Belt:
Elevt axis belt
Platform axis belt
Rotate axis belt
Tilt axis belt
C. Sensor:
Elevt axis sensor
Platform axis sensor
Rotate axis sensor
Tilt axis sensor
Pod lock/unlock sensor
Pod in place sensor
Gripper close/open sensor
Ipor squt sensor
PCB IC:
ILQ2
TIT127
Connect / Cable:
Power cable
Signal cable
Currently located in a humidity-controlled room.
ASYST 2150 (ASYST 2150) 은 반도체 업계에서 자동화된 웨이퍼 처리 애플리케이션의 요구를 충족하도록 설계된 모듈식 및 다용도 웨이퍼 핸들러입니다. 2150은 빠르고, 효율적이며, 정확한 웨이퍼 핸들러로, 직경이 최대 150mm 인 기판을 처리 할 수 있습니다. ASYST 2150은 수평 또는 수직으로 생산 라인에 설치 및 통합 될 수 있습니다. 쉽게 액세스 할 수 있도록 2150에는 인체 공학적 리프트 기능 또는 기울기 프레임 (tilt frame) 옵션이 장착 될 수 있습니다. 또한 사용 편의성을 향상시키는 터치스크린 컨트롤 패널 (옵션) 도 있습니다. 또한, 인클로저는 먼지, 기계적 스트레스 및 정전기 방전으로부터 그것을 보호하기 위해 설계되었습니다. ASYST 2150은 초정밀 포지셔닝을 위해 고해상도 리니어 모터로 설계되었습니다. 이 모터는 또한 최대 4 축 이동 및 최대 속도 10cm/s를 처리 할 수 있습니다. 2150은 "EZ 리프트 (EZ-Lift)" 메커니즘으로 빠른 동작 방식의 웨이퍼 전송 기술을 활용하여 단일 또는 다중 웨이퍼 전송을 처리 할 수 있습니다. 이 시스템은 제조 결함 및 스크랩 속도를 낮추는 최적의 정확성을 제공하면서 주기 (cycle) 시간을 줄입니다. ASYST 2150에는 효율적인 멀티 웨이퍼 로딩 및 언로드를 제공하는 안전한 패스 스루 (pass-through) 상판 컨베이어도 있습니다. 2150 은 또한 다양한 안전 및 모니터링 옵션을 통해 안정적인 성능을 보장합니다. 소프트웨어 기반 Stress Control System (옵션) 은 균일 한 스트레스에 대한 웨이퍼 로드를 모니터링하여 웨이퍼 처리가 안전하고 안정적인지 확인합니다. 또한 ASYST 2150에는 @ info: whatsthis 이를 통해 운영자는 장애를 신속하게 감지하고 적절한 수정 조치를 취할 수 있습니다. 전반적으로, 2150 개는 신뢰할 수 있고 효율적인 웨이퍼 핸들러로, 다양한 기판을 처리 할 수 있습니다. 모듈식 구성과 강력한 기능을 통해 자동 웨이퍼 처리 (automated wafer handling) 어플리케이션에 이상적인 선택이 가능합니다. 다양한 옵션 (옵션) 을 통해 기존 운영 라인에 손쉽게 설치, 통합하여 안정적으로 운영할 수 있습니다.
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