판매용 중고 ASYST 12000-004 #9111130

ASYST 12000-004 (ASYST 12000-004) 는 반도체 제조 공정에서 웨이퍼 처리량 증가, 정확도 향상, 프로세스 제어 향상을 위해 설계된 고급 웨이퍼 핸들러입니다. 이 웨이퍼 핸들러 (Wafer Handler) 는 최신 저마찰 드라이브 (Low Friction Drive) 기술을 탑재하여 웨이퍼 (Wafer) 전송 및 동작 중 더 빠른 속도 운동성과 더 큰 정확성을 제공합니다. 이 고급 장비는 특히 CVD, 에칭 (etching), 리소그래피, 확산 등 중요한 제작 프로세스를 손쉽게 제어할 수 있도록 설계되었습니다. 12000-004에는 최대 600 개의 웨이퍼를 저장할 수있는 8 레벨 웨이퍼 스토리지 트레이가 있습니다. 이러한 증가된 스토리지 용량을 통해 대용량 사전 처리 (pre-processed) 웨이퍼를 손쉽게 액세스할 수 있으며, 대용량 운영 시 매우 중요합니다. 또한 독특한 트레이 설계를 통해 배치 처리 웨이퍼를 신속하게 재결합하여 빠르고 정밀한 포스트 프로세싱을 수행할 수 있습니다. 이 웨이퍼 핸들러 (Wafer Handler) 에는 보다 빠르고 정확한 웨이퍼 처리를 용이하게하기 위해 모든 로봇 주변 장치가 있습니다. 이 시스템의 최종 이펙터에는 리프트, 웨이퍼 스택, 웨이퍼 백킹 플레이트 및 CVD 단계, 에치, 리소그래피 및 확산 프로세스가 포함됩니다. 최종 이펙터는 최대 정확도와 단단히 제어 된 웨이퍼 전송 및 동작을 위해 설계되었습니다. ASYST 12000-004에는 산업 컴퓨터, 확장 가능한 소프트웨어 패키지, 통합 케이블 및 전자기 바빈 액츄에이터도 포함됩니다. 안전 및 보호 증대를 위해, 이 장치에는 안전 연동이 내장되어 있습니다. 이 안전 잠금 장치 (Safety Lock) 는 작동 중 비정상적인 조건이 감지되면 자동으로 웨이퍼 처리 작업을 중단하도록 설계되었습니다. 또한 긴급 상황과 셧다운이 발생할 경우, 시스템 작동을 제어합니다. 12000-004 에는 공구의 성능에 대한 소중한 피드백 (feedback) 을 제공하고 제조 공정에서 발생할 수 있는 문제를 파악하는 데 도움이 되는 종합적인 진단 (diagnostics) 세트가 장착되어 있습니다. 진단 LCD 화면은 또한 자산의 성능과 상태를 검토하고, 중요한 고지 사항과 경고를 표시합니다. 성능 측면에서, 이 웨이퍼 핸들러는 ± 0.3 미크론의 공차에서 웨이퍼를 포지셔닝 할 수 있습니다. 빠르고 정확한 웨이퍼 이동은 고급 동작 제어 모델로 이루어지며 장비의 동작 범위는 260mm (x축), 180mm (y축) 및 115mm (z축) 입니다. 이 시스템은 또한 1.5 초 미만의 사이클 타임 (cycle time) 을 가지고 있으며, 시장에서 가장 효율적인 웨이퍼 처리기 중 하나입니다. ASYST 12000-004 (ASYST 12000-004) 는 최고 수준의 프로세스 제어를 보장하면서 정확하고 빠른 웨이퍼 처리를 제공하도록 설계된 고급 웨이퍼 핸들러 장치입니다. 다양한 로봇 주변 장치, 진단 LCD (Diagnostic LCD) 화면 및 다양한 진단 소프트웨어가 있습니다. 마이크론 (sub-micron) 해상도에서 매우 정확한 웨이퍼 이동을 제공 할 수 있으며, 사이클 시간은 업계에서 가장 빠릅니다. 전반적으로, 12000-004는 현대 반도체 제조의 빠른 속도, 대량 요구에 이상적인 웨이퍼 핸들러입니다.