판매용 중고 ASYST 0190-11409 #9095774

ASYST 0190-11409는 반도체 산업에서 사용하도록 특별히 설계된 웨이퍼 핸들러입니다. 이 장치는 리소그래픽 프로세스 전반에 걸쳐 빠르게 웨이퍼를 이동할 수있는 효율적인 방법을 제공합니다. 다양한 종류의 웨이퍼 크기, 두께 및 기판 재료를 지원할 수 있습니다. 0190-11409는 직경이 최대 25 ", 두께가 최대 0.25" 인 기판을 처리 할 수 있습니다. 최대 200mm/sec의 속도로 96 개의 우물 아파트와 5 "~ 8" 웨이퍼 아파트를 지원하도록 설계되었습니다. 단일 또는 이중 척과 함께 사용할 수 있습니다. 이중 척은 여러 크기의 웨이퍼를 처리 할 때 더 높은 처리량을 제공합니다. 또한 어플리케이션 로딩을 위해 4 개의 작은 아파트 또는 1 개의 큰 아파트의 수동 전송을 지원합니다. ASYST 0190-11409는 스테퍼 모터를 사용하여 웨이퍼의 동작을 제어합니다. 이 모터는 브러시리스 서보 모터로 구동됩니다. "센서 '와" 컨트롤' "시스템 '은 설계 에 통합 되어 있으며, 여러 가지 조건 을 탐지 하고 대응 할 수 있으므로" 웨이퍼' 를 움직 일 때 에 정확 하게 제어 할 수 있다. 0190-11409에는 프로그래밍을 위한 사용자 친화적 인 인터페이스가 포함되어 있습니다. 여기에는 리소그래피 (lithography) 프로그램을 설정하기 위한 설정 메뉴가 포함되며, 명령을 입력하기 위한 디스플레이 및 키패드가 포함됩니다. "핸들러 '를 설치 하여 한" 척' 에서 다른 "척 '으로" 웨이퍼' 를 옮기거나, 한 그릇 에서 다른 그릇 으로 "웨이퍼 '를 옮기거나, 혹은 무대 위 로" 웨이퍼' 를 이동 시키도록 할 수 있다. ASYST 0190-11409에는 현재, 온도 및 토크를 모니터링하는 강력한 안전 시스템이 포함되어 있습니다. 또한 웨이퍼 표면의 변화를 감지하고 응답 할 수있는 자체 교정 센서 (self-calibrating sensor) 도 포함됩니다. 0190-11409는 ESD에 민감한 응용 프로그램에 사용하기 위해 ESD에 안전하도록 설계되었습니다. 전체 ASYST 0190-11409 웨이퍼 핸들러는 안정적이고 효율적인 장비로, 웨이퍼를 빠르고 정확하게 전송합니다. 사용이 간편한 인터페이스와 견고한 안전성 (Safety) 시스템을 통해 반도체 업계에서 가장 적합한 솔루션을 선택할 수 있습니다.