판매용 중고 ASML AWH MK3 #9262329

ASML AWH MK3는 반도체 제조 산업에서 사용하도록 설계된 고급 웨이퍼 처리 기계입니다. 가공 챔버 (Processing Chamber) 에서 얇게 썬 실리콘 웨이퍼를 로드 및 언로드하는 프로세스가 효과적, 빠르고 일관되게 수행되도록 정확성, 속도, 신뢰성을 보장하도록 설계되었습니다. AWH MK3 (AWH MK3) 는 고급 로봇 웨이퍼 처리 메커니즘을 특징으로하며, 이 메커니즘을 사용하여 처리 챔버의 맨드릴에 정확하고 빠른 속도로 웨이퍼를 배치할 수 있습니다. 로봇 조작기는 3 링크 로봇 암 (3-link robot arm), 7 축 위치 지정 메커니즘 및 로드 및 언로드 중 웨이퍼의 위치를 정확하게 감지하는 장치로 구성됩니다. ASML AWH MK3 (ASML AWH MK3) 에는 적외선 카메라, 레이저 변위 센서 및 이미지 프로세서 (image processor) 를 포함한 고급 센서 (advanced sensor) 가 장착되어 있습니다. AWH MK3 (AWH MK3) 에는 고급 웨이퍼 (Wafer) 운송 장비가 장착되어 있어 웨이퍼 제조 시설에서 처리 구역까지 부드럽고 빠른 웨이퍼 수송이 가능합니다. 이 운송 시스템은 센서와 충돌을 방지하기위한 레이저 감지 기술을 갖춘 고속 롤러 장치 (Roler Unit) 를 갖추고 있습니다. 이 기계는 사이클 당 최대 8 개의 기판을 로드하고 언로드할 수 있으므로 대용량 생산 요구에 이상적입니다. 또한 ASML AWH MK3는 최첨단 안전 기능으로 설계되었습니다. 여기에는 위험 전기 관련 사고를 방지하기 위해 적재 및 언로드 시스템에서 모든 전기 "에너지 '를 분리하는" 에너지' 격리 도구 '가 포함됩니다. 이 기계는 또한 사고 또는 오작동시 "로봇 '팔이 움직이지 못하게 하는" fail-safe' 기능을 가지고 있다. 또한 AWH MK3 에는 다양한 그래픽 사용자 인터페이스 (GUI) 가 장착되어 있어 시스템 작동을 손쉽게 모니터링, 제어, 유지 관리할 수 있습니다. 여기에는 직관적이고, 사용자 친화적이며, 대화형 그래픽 사용자 인터페이스가 포함된 '터치스크린 모니터 (touchscreen monitor)' 가 포함되어 있으며, 사용자가 쉽게 자산을 유지 관리, 구성 및 보정할 수 있습니다. 이 시스템은 광범위한 자동화 소프트웨어 패키지 (Automation Software Package) 와 네트워크 인터페이스 (Network Interface) 와도 호환되며, 이를 통해 모델을 원격 액세스하고 제어할 수 있습니다. ASML AWH MK3 의 성능, 안정성, 안전성을 극대화하기 위해, 종합적인 진단 및 유지 관리 기능 시스템이 장비에 통합되었습니다. 여기에는 시스템 성능 확인 (Self Test) 기능, 올바른 작동 매개변수를 설정하기 위한 자동 보정 (Automatic calibration) 기능, 장치 장애 및 오작동을 감지하기 위한 경고 표시기 등이 포함됩니다. AWH MK3 (AWH MK3) 는 반도체 제조 산업의 까다로운 요구를 위해 설계된, 고급적이고 안정적인 웨이퍼 처리 도구입니다. 높은 정확도와 속도, 포괄적인 안전 기능, 직관적인 사용자 인터페이스 (User Interface) 를 통해 사용자는 쉽고 자신감 있게 웨이퍼를 정확하게 로드하고 언로드할 수 있습니다.