판매용 중고 ASML 4022.480.1707 #9262326

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ASML 4022.480.1707
판매
ID: 9262326
SCARA Robot.
ASML 4022.480.1707 (ASML 4022.480.1707) 은 기판 및 웨이퍼 처리를 위해 집적 회로 제조에 사용되는 웨이퍼 핸들러입니다. 이 도구는 생산 도구 내부와 간 기판 및 웨이퍼 (wafer) 로딩, 언로드 및 전송을 자동화하는 다용도 도구입니다. 이 웨이퍼 핸들러 (wafer handler) 는 모든 생산 라인의 필수 부분으로, 작업자가 최소한의 수작업을 통해 생산 도구 사이를 빠르고 정확하게 전환 할 수 있습니다. 웨이퍼 핸들러는 인터페이스와 진공 리프트로 구성됩니다. 이 인터페이스는 진공 리프트 작동, 동작 제어, 생산 도구와 통신하기 위해 설계되었습니다. 이 모터는 여러 개의 모터, 인코더 및 서보 모터 (servo-motor) 와 핸들러 동작을 제어하는 데 사용되는 수많은 전기 기계 구성 요소로 구성됩니다. 리프트에는 2 개의 선형 및 2 개의 회전 액츄에이터와 여러 진공 흡입기가 장착되어 있습니다. 이러한 구성 요소는 최대 200kg의 트랙션 포스 (traction force) 를 제공할 수 있으며, 핸들러는 정확성과 정밀도로 웨이퍼를 안정적으로 픽업 및 전송할 수 있습니다. 이러한 강력한 모터를 통해 핸들러는 최대 60mm/s의 속도를 달성 할 수 있으며, 빠른 기판 및 웨이퍼 전송이 가능합니다. 기계 구성 요소 외에도 ASML 4022.480.1707에는 여러 첨단 전자 제품 및 소프트웨어 응용 프로그램이 포함되어 있습니다. 운영 툴에 연결하기 위한 이더넷 (Ethernet) 포트와 신호 수신 및 송신 기능이 있는 다중 연결 인터페이스 (Multiple Connection Interface) 가 장착되어 있습니다. 또한 여러 개의 I/O 신호가 장착되어 있어 다른 운영 도구 또는 PLC 와 정보를 교환할 수 있습니다. 웨이퍼 핸들러 (wafer handler) 에는 복잡한 작업에서 동작을 조절하도록 설계된 몇 가지 내장 모션 제어 알고리즘이 있습니다. ASML 4022.480.1707은 빠르고 정확한 기판 및 웨이퍼 전송 프로세스를 촉진하는 것 외에도 다양한 안전 (safety) 기능을 제공합니다. 그것 은 위치 탐지 "시스템 '을 갖추고 있으며, 장애물 을 알아차리고, 장비 나" 핸들러' 자체 의 손상 을 방지 할 수 있다. "웨이퍼 핸들러 '에는 온도 를 감시 하는" 시스템' 과 부하 지역 을 위한 추가 보호 "시스템 '이 갖추어져 있어 안전 한 작업 환경 을 유지 하고 있다. 전반적으로 ASML 4022.480.1707 웨이퍼 핸들러는 모든 집적 회로 생산 라인에서 필수적인 도구입니다. 다목적 설계를 통해 기판과 웨이퍼의 정확하고 빠른 로드, 언로드, 전송이 가능하며, 고급 제어 알고리즘 (advanced control algorithms) 과 안전 기능 (safety feature) 은 프로세스의 효율성과 신뢰성을 보장합니다.
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