판매용 중고 ASM DA 139L #9266306

ASM DA 139L은 최대 8 "(200mm) 직경의 웨이퍼를 수용 할 수있는 최첨단 웨이퍼 핸들러입니다. 제조, 공정 개발, 운영 등 여러 목적으로 캐리어와 웨이퍼 카세트 사이에 웨이퍼 (wafer) 를 전송하도록 설계되었습니다. 이 장치는 IE-4500R 로봇과 EcoPlate (TM) 웨이퍼 처리 플랫폼을 갖추고 있으며, 한 번에 최대 4 개의 웨이퍼에 대한 이동 및 포지셔닝 기능을 제공합니다. 또한 카세트에 자동으로 웨이퍼 맵을 만들고 웨이퍼 로트 (wafer lot) 간에 빠르게 전환 할 수있는 자동 로더 (autoloader) 소프트웨어가 포함되어 있습니다. 기판 특정 레시피를 즉시 수정하는 기능은 일괄 처리 시간 (down-time) 을 줄이는 데 도움이 될 수 있습니다. DA 139L에는 2 개의 카세트가 장착되어 있습니다. CLM-1300은 연속 카세트 로더/언로더이고 CW-1300은 하위 분할 카세트 로더/언로더입니다. CLM-1300에는 고속 50 웨이퍼 로더 및 언로더가 있으며, 이는 단면 또는 양면 웨이퍼 캐리어에 사용됩니다. CW-1300sub-split 카세트 로더/언로더는 메인 카세트와 서브 스플릿 카세트 사이의 기판 전송에 사용됩니다. 이 장치는 추가 어댑터 또는 덮개 없이 최대 2개의 8 "(200mm) 직경 웨이퍼를 처리 할 수 있습니다. CW-1300 의 독보적인 추가 기능은 최대 5 개의 웨이퍼 캐리어 (wafer carrier) 를 한 번에 운송하여 소중한 시간을 절약하고 전체 비용을 절감하는 기능입니다. 또한 ASM DA 139L (ASM DA 139L) 에는 모션 센서를 사용하여 로봇 팔에 미치는 영향을 감지하고 즉시 멈추는 ESPD (Electro-Sensitive Protection Device) 와 같은 여러 안전 기능이 포함되어 있습니다. 그 설계 에는 과부하 "센서 '와 외부 물체 로부터의 오염 과 간섭 을 방지 하는 중복" 로봇' 암 "스커어트 '도 포함 된다. 기본적으로 DA 139L 은 안정적이고 비용 효율적이며 효율적인 웨이퍼 처리기로 설계되었습니다. 이 시스템은 기존 웨이퍼 처리 시스템에 쉽게 통합될 수 있도록 설계되었으며, 여러 기판 처리 유형과의 호환성, 구성 가능한 방향, 처리 모드, 구성 가능한 자동 시퀀스 (Configurable Automated Sequence) 등 다양한 기능을 제공합니다. ASM DA 139L (ASM DA 139L) 은 안정적이고 강력한 시스템을 제공하여 최대의 효율성과 생산성을 실현합니다.