판매용 중고 ASM DA 139F #9266304

ASM DA 139F는 최대 300mm 직경의 기판을 안전하고 효율적으로 이동, 회전, 전송 및 처리하도록 설계된 최첨단 웨이퍼 처리 장비입니다. 하드웨어 (hardware) 와 소프트웨어 (software) 의 고급 조합을 사용하여 높은 처리량과 고급 프로세스 제어를 사용자에게 제공합니다. 이 시스템은 여러 기판을 동시에 처리하도록 설계되었으며 실리콘, 세라믹, 금속 등 모든 주요 웨이퍼, 기판 유형과 호환됩니다. 이 기계에는 2 개의 로드 포트 (고속 플랫폼) 와 기판의 온도를 제어하기 위해 사용되는 냉각 팬 (cooling fan) 이 있습니다. 로드 포트에는 로우 프로파일 스테이지 랙 (LPR) 이 장착되어 있습니다. 이렇게 하면, 기판 을 정확 한 위치 에 배치 할 수 있게 되어, 기판 을 적재 하고 언로드 하는 동안 의 정밀도 가 높아진다. 고속 플랫폼은 서로 다른 기판 크기를 수용할 수 있도록 조정이 가능하며, 기판 처리 또는 회전을 초당 최대 1.5 도까지 허용합니다. 이 장치에는 또한 기판을 정확하게 프로그래밍 된 위치에 집어 넣는 로봇 암 (robotic arm) 이 포함되어 있습니다. 로봇은 기판 처리, 고정밀 회전, 제품 정렬 등 다양한 작업을 수행 할 수 있습니다. "로봇 '은 기판 사이 의 충돌 가능성 을 감지 할 수 있으며, 접촉 을 피하기 위해 적절 한 조처 를 취한다. 이 기계는 최종 이펙터 불가지론 적이며 다양한 제조업체의 다양한 유형의 최종 이펙터와 호환됩니다. 제어 도구 (Control Tool) 에 통합된 소프트웨어 제품군을 사용하면 운영 시퀀스를 필요에 맞게 사용자 정의하고, 자산 성능을 효율적으로 모니터링할 수 있습니다. 온도 및 습도 모니터링 (Temperature and humidity monitoring) 은 공정이 원하는 온도 범위 내에 유지되도록 하고 기판의 손상을 방지합니다. 또한, 이 모델에는 여러 진단/안전 (diagnostic/safety) 기능이 장착되어 있습니다 (예: 전력 손실이나 결함이 발생할 경우 자동 종료). 이 장비는 또한 모든 처리 매개변수 (processing parameter) 의 레코드를 유지하며 사용 가능한 작업에 대한 포괄적인 라이브러리를 제공합니다. 요약하자면, DA 139F 는 안정적이고 효율적인 기판 처리를 위해 설계된 최강의 wafer 처리 시스템입니다. 이 기계는 강력한 로봇 공학, 맞춤형 소프트웨어, 최신 진단 및 안전 기능으로 제작되었습니다. 이 장치는 비용 및 위험을 최소화하면서 처리량과 품질을 극대화할 수 있도록 설계되었습니다 (영문).