판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS VHP #9292870

AMAT / APPLIED MATERIALS VHP
ID: 9292870
웨이퍼 크기: 8"-12"
Vacuum robot, 8"-12".
AMAT/APPLIED MATERIALS VHP (Volume High Productivity) Wafer Handler는 상용 볼륨 생산의 생산성을 크게 높이기 위해 설계된 최첨단 웨이퍼 처리 장비입니다. 이 시스템은 프로세스 처리량을 최대 50% 까지 향상시켜, 수작업을 최소화하면서 출력 효율을 극대화합니다. AMAT VHP 장치 (AMAT VHP Unit) 는 다양한 반도체 생산 단계에서 전체 비용 및 생산 시간을 최소화하려는 Fabs 용도로 설계된 매우 경제적인 솔루션입니다. APPLIED MATERIALS VHP Wafer Handler는 컨베이어, 반도체 웨이퍼 로더, 웨이퍼 스테이션 및 카세트 로더로 구성된 완전 모듈 식 기계입니다. 한 스테이션에서 다음 스테이션으로 간단하고 자동화된 웨이퍼 (wafer) 이동을 지원하는 수직 (vertically-oriented) 툴을 통해 용량 증가를 제공합니다. VHP 자산은 유지 보수/운영 (Maintenance/Model Status) 을 지속적으로 모니터링하고 보고하므로 다운타임을 최소화하고 가동 시간을 최대화할 수 있도록 설계되었습니다. 또한 다양한 Wafer Processing 툴을 통해 디바이스 수준의 프로세스를 최적화할 수 있습니다. 이 장비에는 AMAT/APPLIED MATERIALS VHP Code (AMAT/APPLIED MATERIALS VHP 코드) 기능과 같은 여러 가지 혁신적인 기능이 장착되어 있어 추적성 및 프로세스 제어를 위해 웨이퍼 바 코드를 스캔 할 수 있습니다. AMAT VHP는 또한 AMAT 특허를 획득한 TSC (Total System Control) 기술을 사용하여 정교한 프로세스 제어 및 향상된 데이터 처리 기능을 제공하여 원격 모니터링 및 프로세스 최적화를 지원합니다. 이러한 기능을 통해 장치 사업자는 생산을 최적화하고, 중요한 자원을 절감하며, 폐기물을 줄일 수 있습니다. APPLIED MATERIALS VHP Wafer Handler에는 시스템 관리 및 제어를위한 종합 소프트웨어 제품군이 장착되어 있습니다. 이 소프트웨어는 그래픽 기반 프로세스 데이터 분석 도구를 사용하여 운영자가 쉽게 도구 성능, 프로세스 결과, 자산 유지 관리 등을 추적할 수 있습니다. 또한 실시간 진단을 통해 프로세스 데이터를 손쉽게 액세스할 수 있고, 모델 성능을 평가하고, 중요한 장비 매개변수를 분석할 수 있습니다 (영문). 더욱이, 이 시스템은 프로세스 수익률 향상 및 엔지니어링 개발을 위해 기존 FAB 인프라에 쉽게 통합될 수 있습니다. VHP Wafer Handler는 비용 효율성, 효율성 및 최적화 기능을 고려하여 반도체 생산을 간소화하는 데 이상적인 툴입니다. 생산 수요가 증가함에 따라 AMAT/APPLIED MATERIALS VHP (APPLIED MATERIALS VHP) 장치는 업계에서 중요한 역할을 계속하여 생산량을 높이고 프로젝트 주기를 단축하는 한편, 자원과 에너지 소비량을 절감할 것으로 예상됩니다.
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