판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS VHP #293664316

AMAT/APPLIED MATERIALS VHP (Vacuum Handler Platform) 는 반도체 제작 환경에서 사용하도록 설계된 고성능 웨이퍼 핸들러입니다. AMAT VHP는 특히 젖은 벤치, 스피너, etcher, 금속 증착 도구 및 기타 진공 시스템과 같은 공정 도구 사이에서 200mm 및 300mm 웨이퍼를 전송합니다. 이 시스템은 바보 방지 웨이퍼 전송을 위해 진공 그립 헤드 (vacuum grip head) 를 사용하며, 모든 전송 주기마다 정확하게 중심 웨이퍼 배치를 제공하기 위해 비전 기반 정렬 도구가 장착되어 있습니다. APPLIED MATERIALS VHP는 복잡한 집적 회로를 제작하는 다양한 프로세스 기능을 제공합니다. 모듈식, 확장 가능한 설계를 통해 사용자는 회로 구성 (Circuit Fabrication) 워크플로우에서 특정 프로세스의 시스템을 쉽게 구축할 수 있습니다. 이러한 유연성과 확장성은 VHP가 스피너, 드라이 에치 플라즈마 (dry etch plasma), 이온 임플랜터 (ion implanter), 직접 쓰기 도구 등 여러 프로세스 도구를 동시에 제어하는 기능을 통해 향상되었습니다. 이 자동 제어 (Automated Control) 기능을 통해 사용자는 신속하게 시스템을 구성하여 높은 처리량과 낮은 폐기물을 얻을 수 있습니다. 안전 측면에서 AMAT/APPLIED MATERIALS VHP에는 비상 정지 버튼, acut off 모니터링 및 알림 프로세스, 긴급 대피 제어, 하드웨어 및 경보 시스템 등과 같은 표준 안전 기능이 포함됩니다. 또한, AMAT VHP는 강제 공기, 청소실 공기 흐름 시스템, 필터링 된 공기 환기 옵션과 같은 추가 환경 안전 시스템으로 구성 될 수 있습니다. APPLIED MATERIALS VHP는 비교적 작은 공간에 많은 전력을 공급합니다. Control System 에는 디스플레이 모니터, RS-232 및 이더넷 통신 인터페이스, 프로그래밍 소프트웨어가 포함된 상용 PLC 가 포함되어 있습니다. 또한 웨이퍼 핸들러 (wafer handler) 는 단면 및 양면 웨이퍼를 처리하기 위한 광범위한 전력 및 전압 요구 사항을 갖추고 있습니다. VHP 는 비용 효율적인 방식으로 운영 실행을 위한 탁월한 활용도와 안전성을 제공하도록 설계되었습니다. 이 시스템은 처리량이 많은 웨이퍼 (wafer) 를 처리할 수 있도록 설계되었지만, 프로세스 요구 사항에 따라 유연하게 사용할 수 있습니다. 강력한 디자인과 안정적인 성능을 갖춘 AMAT/APPLIED MATERIALS VHP는 반도체 및 기타 고급 제작 프로세스에 이상적인 선택입니다.