판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS FABS-202 #9166885
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ID: 9166885
Wafer transfer station
APPLIED MATERIALS Endura etcher system
RORZE
Type no: OCRR8151-001-001
(10) Axes
RORZE Robot
Type no: RR700L120-Z30-011
RORZE Robot controller
Type no: CURR-1076-2.
AMAT (APPLIED MATERIALS )/AMAT/APPLIED MATERIALS FABS-202 웨이퍼 핸들러는 반도체 웨이퍼를 고온 선박 및 용광로에 빠르고 정확하게 적재하도록 설계된 전동 진공 처리 장비입니다. 이 시스템은 생산 및 실험실 제조에 이상적인 선택입니다. AMAT FABS-202는 안정적인 웨이퍼 투 척 정렬을 갖춘 통합 진공 처리 장치를 갖추고 있습니다. 원샷 웨이퍼 (One-Shot) 로딩 및 언로드 기능을 통해 빠른 로딩 및 위치 조정이 가능하므로 정밀한 정렬이 가능합니다. 진공기는 조정 가능한 모터 속도 제어 (motor speed control) 에 의해 구동되며, 다양한 칩 크기와 유형에 대해 사용자 정의 가능한 웨이퍼 처리가 가능합니다. 독립 진공 도구 (Independent Vacuum Tool) 를 통해 사용자 지정 접지 규칙을 사용할 수 있으며, 플랫폼 간 개별 웨이퍼의 효율적인 이동을 촉진합니다. APPLIED MATERIALS FABS-202에는 "지상 규칙" 함수도 포함되어 있습니다. 여기에는 프로세스별 로드 매개 변수 설정, 시간 절약 및 정확도 향상에 사용할 수 있습니다. 또한 완전하게 조절 가능한 스톱 (stop) 을 추가하여 웨이퍼 로딩 프로세스를 간소화하도록 설계되었습니다. 이 정지 (stop) 를 조정하여 웨이퍼 인 (wafer in) 및 아웃 (out) 위치에 필요한 시간을 줄여 여러 웨이퍼를 병렬로 처리할 수 있습니다. 이 장치는 프로파일이 매우 낮아 프로덕션 플로어에 쉽게 설치할 수 있습니다 (영문). FABS-202는 웨이퍼 높이를 정확하게 제어하기 위해 디지털로 제어되는 Z축을 제공합니다. GUI (Graphical User Interface) 를 사용하면 직관적인 작업을 수행할 수 있고, 매개변수를 쉽게 볼 수 있으므로 최적의 성능을 위해 설정을 빠르게 조정할 수 있습니다. 또한 자동 감지 기능 (auto sensing feature) 이 장착되어 있는데, 이 기능은 용광로의 온도가 사전 설정된 한도를 초과하면 차단됩니다. 이 에셋에는 비상 정지 (Emergency Stop) 버튼도 포함되어 있어 비상 사태의 경우 사용자가 모델을 종료할 수 있습니다. AMAT/APPLIED MATERIALS FABS-202는 어닐링, 프로세스 창 생성, 고온 손상 테스트 등 다양한 열 프로세스에서 사용할 수 있습니다. 이 장비에는 온도 보호 (automatic over temperature protection), 하부 모터 차단 (lower motor shoff), EMI 차폐 모터 (EMI-shielded motor) 및 저급 전압 분리 (low level voltage disconnect) 와 같은 다양한 안전 기능이 장착되어 있습니다. 또한, AMAT FABS-202는 CE 승인 및 ISO 9001 표준과 호환되며, 최대한의 보안 및 신뢰성을 제공하는 강력하고 안정적인 장치입니다.
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