판매용 중고 AIRTECH TCC-H-182107SF-1K #9249418

AIRTECH TCC-H-182107SF-1K
ID: 9249418
빈티지: 1991
Stocker 1991 vintage.
AIRTECH TCC-H-182107SF-1K는 반도체 응용 분야를위한 고성능 웨이퍼 핸들러입니다. 이 웨이퍼 핸들러 (wafer handler) 는 대용량 웨이퍼 생산에서 정확성, 안정성, 반복성을 보장하기 위해 다양한 기능으로 설계되었습니다. 4, "6" 또는 8 인치 웨이퍼, 직경 최대 200mm, 카세트 1K 조각을 처리 할 수 있습니다. TCC-H-182107SF-1K 는 모듈식 기계식 설계 (modular mechanical design) 를 사용하여 신속한 재구성을 가능하게 하며, 장비가 다양한 밀이나 컨트롤러와 상호 작용할 수 있도록 합니다. 이 핸들러 (handler) 는 정확한 이동 및 웨이퍼 배치를 보장하는 조작기 암 (manipulator arm) 을 갖추고 있으며 서보 모터 시스템은 더 빠른 처리량, 정확한 결과 및 반복 가능한 동작을 제공합니다. 또한, 이중 축 설계 및 미세 조정 휠은 웨이퍼의 정밀 정렬을 허용합니다. 또한 "스테인레스 '강 진공실 덕분 에" 웨이퍼' 를 보호 할 수 있는데, 그것 은 오염 가능성 을 제한 한다. "웨이퍼 '의 우발적 인 움직임 을 중지 시키는 안전" 브레이크' 와 "챔버 '의 이물질 을 탐지 하는 공기" 제트 센서' 도 있다. 통합 모터 크로스 토크 보호, 모터 및 공기 공압 경보 (motor and air neumatic alarm) 와 같은 이 핸들러 (Handler) 의 기능과 이중 센서 장치는 웨이퍼가 계속 보호되는지 확인합니다. AIRTECH TCC-H-182107SF-1K에 통합 된 PC 기반 구성 및 제어 머신으로, 사용자는 핸들러를 제어 및 모니터링하고, 조정하고, 조정할 수 있습니다. 또한 데이터 로깅 (data logging) 및 보고 (reporting) 기능을 통해 처리기 문제나 자산 장애를 신속하고 효율적으로 해결할 수 있습니다. 전체적으로 TCC-H-182107SF-1K는 직경이 최대 200mm인 4, "6" 또는 8 "웨이퍼의 1K 조각을 처리 할 수있는 신뢰할 수 있고 다용도 웨이퍼 핸들러입니다. 서보 모터 운영, 듀얼 축 설계, 통합 PC 기반 모델, 안전 센서 등 다양한 기능을 통해 대용량 웨이퍼 (wafer) 생산에 적합한 제품으로, 높은 수준의 정확성과 반복성을 제공합니다.
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