판매용 중고 ADEPT S800 #9266596

ADEPT S800 웨이퍼 핸들러는 에피 택시 성장 및 재성장 (regrowth) 과 같은 고온 프로세스를 위해 설계된 완전 자동화 된 선형 웨이퍼 전송 장비입니다. 초저온 프로파일 가변성 (Ultra-Low Temple Profile Variability) 및 최대 정확도를 통해 200mm 및 300mm 등 다양한 크기의 웨이퍼를 반복 처리 할 수 있는 비용 효율적인 솔루션을 제공합니다. S800 은 모듈식 선형 (Modular Linear) 설계로 제작되어 부품 및 구성 요소에 편리하게 액세스할 수 있습니다. 파퍼 전송 (wafer transport) 응용 프로그램에서 정확하고 일관된 온도 제어를 가능하게 하는 노출 된 영역이없는 개방형 (open) 엔클로저 프레임 설계가 있습니다. 이 시스템은 정확한 웨이퍼 이동을 위해 전동 선형 운송 모듈, 레일 및 가이드 시스템으로 구성됩니다. 전송 모듈에는 고성능, 저온 브러시리스 (brushless) 모터 및 폐쇄 루프 피드백 제어를 위한 고해상도 인코더가 장착되어 있습니다. 이 장치에는 온도 프로파일 (temperature profile) 의 정확도를 높이고 가변성을 줄이기 위해 설계된 정교한 컨트롤 머신 (control machine) 도 장착되어 있습니다. 이 도구에는 PC 기반 데이터 로깅 및 추적 자산이 통합되어 있어 운영자가 웨이퍼 이동을 모니터링 및 제어하고, 웨이퍼 온도 프로파일을 추적하고, 데이터를 실시간으로 분석할 수 있습니다. 제어 모델은 반도체, MEMS, 3D 인쇄 등 수많은 애플리케이션에 대한 요구를 충족하도록 사용자 정의할 수 있습니다. ADEPT S800은 매우 다양한 기능을 제공하여 빠르고 정확한 웨이퍼 전송을 용이하게합니다. 자동화된 컷 및 크기 감지 시스템은 전송 트레이에 웨이퍼를 정확하게 식별하고 배치합니다. 이 장비에는 동적 역압 제어, 가열 된 섬유 챔버 (Fibre Chamber) 및 비활성 대기의 필요성을 제거하는 건식 (Dry-box) 커버도 포함됩니다. 통합 웨이퍼 로더 및 언로더를 사용하면 동일한 시스템에서 높은 처리량 웨이퍼 전송이 가능합니다. 이 장치는 가동 시간을 늘리고, 수동 처리를 줄이고, 안전을 개선하도록 설계되었습니다. S800은 고온 웨이퍼 처리 어플리케이션을 위한 안정적이고 비용 효율적인 솔루션입니다. 고급 웨이퍼 전송 (wafer transport) 기능을 통해, 이 기계는 많은 까다로운 프로세스를 지원하는 데 필요한 최고 수준의 정확성, 안정성, 반복 성을 제공합니다.