판매용 중고 ADEPT Cobra 600 #55736

ADEPT Cobra 600
ID: 55736
빈티지: 1999
VME robot arm, controller, amplifiers, manual control pendant, CIP, cables and camera AWC or AWCII controller. One unit is in cleanroom Options: Workcell table with guarding (about 5'x5') Power and wiring cabinet Operators station Pedestals with Cobra footprint Can demonstrate 1999 vintage.
ADEPT Cobra 600은 정확하고 안정적인 웨이퍼 처리 성능을 제공하도록 설계된 고성능 웨이퍼 핸들러입니다. 높은 수준의 정확성과 정확성을 요구하는 웨이퍼 (wafer) 처리 어플리케이션에 이상적입니다. 코브라 600 (Cobra 600) 은 전자 모션 제어 장비를 사용하여 웨이퍼를 공정 챔버 안팎으로 정확하게 전송하는 반자동 웨이퍼 핸들러입니다. 웨이퍼 핸들러 (wafer handler) 는 고정밀 웨이퍼 셔틀 시스템을 갖추고 있으며 다양한 웨이퍼 전송 프로세스에 사용할 수 있습니다. ADEPT Cobra 600 (ADEPT Cobra 600) 은 컴팩트하고 인체 공학적 인 디자인을 특징으로하며, 모든 크기의 프로세스 챔버에 쉽게 맞출 수 있습니다. 또한 내장형 서보 드라이브 (Servo Drive) 와 유체 제어 장치 (Fluid Control Unit) 에 의해 제어되는 로봇 암 (Robot Arm) 을 통해 정확한 포지셔닝 및 원활한 작동이 가능합니다. 이것 은 "웨이퍼 '가 공정실 에 정확 하고 안전 하게 배치 되도록 하는 데 필수적 이다. "로봇 '암 은 또한" 카메라' 기계 에 동기화 되어 "웨이퍼 '의 정확 한 영상 촬영 과 수동 중심 장치 의 필요성 을 제거 할 수 있다. 코브라 600 (Cobra 600) 에는 다양한 혁신적인 기능이 장착되어 있어 가장 신뢰할 수있는 웨이퍼 핸들러 중 하나입니다. 통합 비전 (Integrated Vision) 도구는 웨이퍼 위치와 정확도에 대한 실시간 피드백을 제공하는 반면, 통합 진공 자산은 안정적이고 안전한 웨이퍼 처리를 보장합니다. 처리기에는 또한 보호 프레임 및 쉴드 (shield) 가 포함되어 공정 오염 물질로부터 보호됩니다. ADEPT Cobra 600은 200mm에서 450mm까지 여러 웨이퍼 크기를 처리 할 수도 있습니다. 따라서 웨이퍼 처리 프로세스의 처리량과 유연성이 향상됩니다. 또한, "웨이퍼 핸들러 '는 손쉬운 청소 및 유지보수 를 위해 설계 되어, 신속 하고 효율적 인 생산 주기 가 가능 하다. 전반적으로 코브라 600 (Cobra 600) 은 믿을 수 없을 정도로 안정적이고 고급 웨이퍼 핸들러로, 웨이퍼 처리 프로세스에서 높은 수준의 정확성과 정확성을 제공합니다. 반도체 제조에서 MEMS 생산에 이르기까지 다양한 웨이퍼 애플리케이션에 이상적입니다. 컴팩트한 디자인, 직관적인 사용자 인터페이스, 고급 기능을 갖춘 ADEPT 코브라 600 (Cobra 600) 은 까다로운 웨이퍼 처리 작업에 적합합니다.
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