판매용 중고 ADEPT 840 #135216

ADEPT 840 (ADEPT 840) 은 웨이퍼 처리를 최적화하는 정교한 재료 처리 기능을 제공하도록 설계된 최강의 자동 웨이퍼 처리 장비입니다. 이 시스템은 최고 수준의 품질을 유지하면서 운영 환경과 R&D 환경 모두에서 처리량을 극대화할 수 있도록 설계되었습니다. 840은 실리콘 웨이퍼, 박막 재료, 연약한 옵토 전자 기판 등 얇고 두꺼운 기판을 공급, 전송, 정렬, 검사 등 포괄적인 재료 처리 기능을 제공합니다. 이 장치는 시간당 최대 1500 개의 웨이퍼를 전송 할 수 있으며, 정확하고 안정적인 기판 운송을 위해 고급 다이렉트 드라이브 (direct-drive) 메커니즘을 제공합니다. 재료 처리 기계는 통합 된 모듈 쌍 (Pair of Module), 침투 모듈 (Infeed Module) 및 복장 모듈 (Outfeed Module) 으로 구성되며 가혹한 환경 상태에서도 웨이퍼를 정확하게 운송 할 수 있습니다. ADEPT 840은 인체 공학적 설계에서 정밀한 기판 위치 정밀도, 고속 처리량 및 효율적인 작동을 제공합니다. 최신 표준 인터페이스 (예: USB, 이더넷) 를 모두 사용할 수 있으므로 멀티벤더 환경에서 다양한 툴과 쉽게 통합할 수 있습니다. 자산 성능을 효과적으로 관리하고 분석할 수 있는 포괄적인 도구 진단 기능도 제공됩니다. 이 모델은 또한 웨이퍼 핸들러 (wafer handler) 크기 측면에서 더 큰 유연성을 제공하도록 설계되었습니다. 2개의 서로 다른 섀시 크기를 가진 2개의 다른 모델을 제공하는 840 (840) 은 다양한 도구를 수용할 수 있도록 설계되었으며, 기존 프로세스 흐름에 쉽게 통합될 수 있습니다. 또한 모듈식 설계 (Modular Design) 를 통해 고객이 필요로 하는 모듈만 선택하여 설치할 수 있으므로 장비의 전체 설치 공간과 비용을 줄일 수 있습니다. ADEPT 840에는 듀얼 안전 도어 (Dual Safety Door) 및 안전 라이트 커튼 (Safety Light Curton) 을 포함한 다양한 안전 기능이 장착되어 있습니다. 전반적으로, 이 시스템은 처리량을 극대화하고, 생산/연구/개발 환경의 품질을 보장하도록 설계되었습니다.