판매용 중고 ADEPT 550 #174547

ADEPT 550
제조사
ADEPT
모델
550
ID: 174547
Robots.
ADEPT 550은 고성능 웨이퍼 핸들러 및 포지셔닝 시스템으로, 반도체, 광전자 및 MEMS 관련 Fabs의 양면 처리에 적합합니다. 이 고도로 유연한 웨이퍼 핸들러는 2 ~ 200mm 크기의 웨이퍼 크기를 수용하며 1 ~ 4 개의 웨이퍼를 쉽게 처리 할 수 있습니다. 설치 공간이 작고 완전하게 자동화된 웨이퍼 (wafer) 공장에 쉽게 통합할 수 있도록 설계되었습니다. 550은 레이저 스캐너 (laser scanner) 를 사용하여 처리 전/중에 웨이퍼를 정확하게 배치하고 정렬합니다. 레이저 스캐너 (Laser scanner) 는 최대 5m (optical resolution) 의 조정 가능한 광학 해상도를 가지며, 이 핸들러는 분할 초 내에서 정확하게 측정 할 수있는 기능을 제공합니다. 또한, ADEPT 550에는 신뢰성이 높은 상호 작용 시스템 (Interaction System) 과 균형 잡힌/불균형 선택 제어 (Unbalanced Selection Control) 를 갖춘 정밀 진공 헤드가 장착되어 있습니다. 이렇게 하면 처리기를 재설정하지 않고도 "웨이퍼 (wafer) '를 빠르게 변경하고 교체할 수 있습니다. 또한 550 은 컨트롤러 시스템을 선택하여 특정 엔드 유저 요구 사항과 프로세스를 수용할 수 있습니다. 사용 가능한 옵션은 스테인레스 스틸, 비 자기 또는 활성 자기 컨트롤러 시스템입니다. 각 컨트롤러는 특정 프로세스 요청에 맞게 핸들러를 변경하고 수정할 수 있는 유연성을 제공합니다. 이 웨이퍼 핸들러 (wafer handler) 에는 웨이퍼 저장 및 검색에 사용할 수 있는 내장 팔레트 핸들러도 있습니다. 팔레트 핸들러는 빠른 보충을 위해 쉽게 액세스 할 수 있으며, 최대 48 개의 팔레트를 수용 할 수 있습니다. 또한 유지 보수 작업에 대한 실시간 모니터링 및 문제 해결을 위한 온보드 진단 유틸리티도 포함되어 있습니다. ADEPT 550은 진동이없는 움직임을 제공하는 내구성과 컴팩트 한 프레임으로 만들어집니다. 브러시리스 (brushless) DC 모터로 구동되며, 향상된 정확성과 반복성을 위해 닫힌 루프 인코더가 장착되어 있습니다. 유연한 설계를 통해 550은 기존 운영 라인에 효율적으로 통합할 수 있으며, 직관적인 사용자 인터페이스 (user interface) 는 빠르고 자세한 매개변수 설정을 제공합니다. 최대 3m2/sec의 속도로, ADEPT 550은 고속 어플리케이션에 적합하며, 대용량, 고수율 생산 프로세스에 적합합니다. 또한, 이 시스템은 라인 스캔, 패턴 인식, 이미지 처리 등 다양한 응용 프로그램을 지원합니다. 포괄적인 보증, 강력한 지원 옵션을 갖춘 이 Wafer Handler는 안정적인 성능, 비용 효율적인 솔루션을 제공합니다.
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