판매용 중고 ADEPT 550 CL #9098490
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ADEPT 550 CL은 극도의 정밀도로 유명한 고급 웨이퍼 핸들러입니다. 마이크로일렉트로닉스 제조 (microelectronics manufacturing), 반도체 연구 개발 (semiconductor research and development) 등 다양한 응용 프로그램 내에서 다양한 처리 요구에 대한 일관된 처리 솔루션을 제공하도록 설계되었습니다. 이 장비는 자동 웨이퍼 전송을위한 통합 선형 드라이브 로봇, 사용하기 쉬운 HMI 터치 스크린, 멀티 존 환경 제어 시스템 (모두 인체 공학적으로 설계된 캐비닛에 캡슐화) 을 갖추고 있습니다. 이 웨이퍼 핸들러 (wafer handler) 는 직경 2 ~ 12 인치의 다양한 웨이퍼 (wafer) 크기로 작동하며, 척을 선택하여 빠르고 정확하게 찾을 수 있습니다. 또한, 이 장치는 한 번에 최대 15 개의 웨이퍼를 처리 할 수 있으며, 이는 다중 로트 처리에 이상적입니다. 550 CL에는 정확한 작동을 보장하기 위해 여러 메커니즘이 장착되어 있습니다. 공구가없는 엔드 이펙터 (end-effector) 가 특징이며, 입력 카세트에서 빠르게, 정확하게 웨이퍼를 집어 넣는 데 사용할 수 있습니다. 또한, 기계는 실시간 닫힌 루프 (closed loop) 작동으로 제작되며, 이 공구는 더 매끄러운 작동을 위해 위치를 조정하기 전에 wafer displacement (웨이퍼 변위) 와 같은 결과를 감지하는 데 사용됩니다. 유동 (drift) 을 최소화하고 원치 않는 먼지로부터 보호하기 위해 자산에는 진동 억제 시스템 (Bist-In Vibration Suppression System) 과 효과적인 작업 보유를위한 고급 진공 모델이 장착되어 있습니다. 또한 공기 제거 (air-purge) 옵션이 내장되어 있어 한 영역에서 다른 영역으로 이동할 때 웨이퍼가 완전히 보호됩니다. 밀링 된 강철 구조에 장착 된 ADEPT 550 CL은 장기적인 내구성과 신뢰성을 보장하기 위해 견고하게 제작되었습니다. 이 장비는 공기 또는 질소 쿠션 보호 (nitrogen cusion protection) 를 통해 다양한 거친 환경에서 작동 할 수 있으며, 높은 수준의 정밀도가 필요한 어플리케이션에 적합합니다. 550 CL (Advanced Wafer Handler) 은 다양한 어플리케이션에서 뛰어난 성능과 신뢰할 수 있는 처리 솔루션을 제공하는 고급 웨이퍼 핸들러입니다. 통합 로봇, 고급 메커니즘 (Advanced Mechanism), 고급 소재 (Supperious Materials) 를 통해 사용자는 시스템을 신뢰하여 다운타임이 최소화되고 정확도가 극대화된 표준 웨이퍼 처리 솔루션을 제공할 수 있습니다.
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