판매용 중고 YAMAZAKI TECHNO 32 SPAW #9221592

YAMAZAKI TECHNO 32 SPAW는 반도체 웨이퍼에서 일관되고 반복 가능한 마무리를 제공하기 위해 설계된 고정밀, 자동 웨이퍼 그라인딩, 랩핑 및 연마 장비입니다. 이 시스템은 수작업 (Manual Intervention) 을 제거하고 반복 가능한 정확성과 성능을 보장하는 고급 컴퓨터 제어 장치 (Advanced Computer-Controlled Unit) 에 의해 구동됩니다. 32 SPAW는 연삭 및 연마 주기를 고급 제어하여 고품질, 저결함 웨이퍼를 생성 할 수 있습니다. 기계는 두 가지 주요 구성 요소로 구성됩니다. 첫 번째는 웨이퍼 스테이지 (wafer stage) 로, 웨이퍼를 안전하게 고정하고 빠르게 회전하도록 설계되었습니다. 웨이퍼 스테이지에는 완전히 프로그래밍 가능한 서보 모터 (servomotor) 컨트롤이 장착되어 있어 프로세스 매개변수를 자동으로 조정하고 효율성을 극대화할 수 있습니다. 두 번째 구성 요소는 연삭 및 연마 휠로 구성된 차동 구동 도구입니다. 두 바퀴 는 정밀 한 "모우터 '와 상호 작용 하며, 정밀 한 속도 를 제공 하며, 정밀 한 회전력 을 제공 하여, 완전 한 연삭 과 연마 주기 를 보장 한다. 이 에셋은 또한 공정 (process) 의 정확도와 공정 중에 생성된 먼지를 제거할 먼지 수집 장치 (dust collection unit) 를 증가시키는 동기화된 공기 냉각 모델을 특징으로합니다. YAMAZAKI TECHNO 32 SPAW에는 균일 한 표면 품질 및 반복 성을 가능하게하기 위해 고급 옵틱도 장착되어 있습니다. 이 장비는 레이저 자동 초점 (laser autofocus) 을 사용하여 각 웨이퍼의 정확한 사양에 맞게 연삭 및 연마 매개변수를 최적화합니다. 자동 서피스 분석 기능 (automatic surface analysis function) 을 사용하면 그라인딩 및 연마 휠을 지속적으로 모니터링하고 조정하여 웨이퍼 서피스를 가로 질러 균일 한 마무리를 보장할 수 있습니다. 32 SPAW는 높은 정확도와 일관성 (Consistency) 으로 높은 볼륨에서 웨이퍼를 가공하는 데 적합합니다. 운영 자동화를 위해 설계되었으며, 시스템 유지 관리가 용이한 저비용 (LCO) 을 제공합니다.