판매용 중고 WENDT WAC 715 #9385702
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ID: 9385702
빈티지: 2005
Scalar
Operating hours: 50,000
Power supply: 400 V, 63 A, 26 kVA
With manual
2005 vintage.
WENDT WAC 715는 고가, 고품질 반도체 웨이퍼의 대규모 생산을 위해 설계된 정밀 웨이퍼 그라인딩, 랩핑 및 연마 장비입니다. 파퍼 표면의 정밀 연삭, 랩핑 및 연마 (polishing) 를 결합하여 까다로운 반도체 장치 제작 응용 프로그램을위한 궁극적 인 평평함, 결함 자유 표면 및 높은 균일성 매개변수를 달성합니다. 이 시스템은 24/7 작동을 위해 설계되었으며 고압 왕복 연삭/랩핑 헤드, 8 스테이션 회전 연마 기계 및 습도 제어 웨이퍼 처리/검사 챔버가 포함됩니다. WAC 715의 그라인딩 헤드는 스트로크 (stroke), 압력 (pressure), 속도 (speed) 및 피드 레이트 (feedrate) 가 조정되어 다양한 연삭 프로젝트를 수행 할 수 있습니다. 이 장치에는 웨이퍼 (wafer) 표면 연삭을위한 다이아몬드 연마 패드와 웨이퍼 (wafer) 가장자리를 정확하게 연마하기위한 연마 패드 (polishing pad) 가 있어 웨이퍼의 상세하고 정확한 프로파일 링이 가능합니다. 유연성 있는 설계 를 통해 "웨이퍼 '를 빠르고 쉽게 적재 및 언로드할 수 있으며, 따라서 연삭 공정 간 의 빠른 처리 시간 이 필요 하다. WENDT WAC 715의 8 개 스테이션 연마기는 효과적이고 효율적인 연마 과정을 허용합니다. 이 장치는 스커핑 (scuffing) 과 연마 (polishing) 미디어의 조합을 사용하며, 특정 수의 프로그래밍 사전 설정에 매핑되고 각 웨이퍼의 특정 요구 사항에 맞게 조정됩니다. 연마 기계는 또한 낮은 결함 수 (low defect count) 를 달성하고, 품질을 향상시키고, 원치 않는 오염을 제거하며, 산업 표준보다 균일성 매개변수를 제공하는 데 사용됩니다. WAC 715는 또한 청소 실 작업 중에 민감한 웨이퍼를 보호하기 위해 습도 조절 스테이션을 갖추고 있습니다. 이 방송국은 웨이퍼 (wafer) 처리 및 검사 과정에는 먼지와 오염 물질이 없으며, 응축이 형성되지 않도록 보장합니다. 습도 챔버 (Humidity Chamber) 는 유닛에 적재하기 전에 웨이퍼를 저장하는 데 사용될 수도 있습니다. WENDT WAC 715 머신은 고성능, 비용 효율적인 반도체 웨이퍼 처리를 위해 설계되었습니다. 오늘날 가장 발전된 반도체 장치 제조업체에 대한 높은 수율, 엄격한 품질 제어 표준 외에, 구불 구불, 연삭, 랩핑, 연마 작업에 대한 최적의 반복성과 정확성을 제공합니다.
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