판매용 중고 VOUMARD 5A #9350280
URL이 복사되었습니다!
확대하려면 누르십시오
ID: 9350280
Universal internal grinding machine
Grinding diameter: 5-200 mm
Grinding depth: 250 mm
Center height: 260 mm
Swing: 300 mm
Work piece length: 500 mm
Spindle taper: 70 m
Work head speed: 125-1000 RPM
Work head swivel: 90°
Table feed: 0-10 m / min
Spindle speed: 3600 - 40000 RPM
Spindle diameter: 90 mm.
VOUMARD 5A는 MEMS, SOI, BiCMOS 및 ASIC과 같은 장치 생산에 사용되는 고정, 완전 자동 웨이퍼 그라인딩, 랩핑 및 연마 장비입니다. 이 시스템은 이중 챔버에서 작동하는 한 쌍의 쿼츠 웨이퍼 캐리어 (quartz wafer carrier) 와 1 축 표면 거칠기와 50 nm 정확도의 부품을 생산할 수있는 6 축 로봇 조작기를 사용합니다. 이 장치의 중심에는 정밀하고, 연마력이 낮은 그라인딩 머신 (grinding machine) 이 있으며, 유연한 연마 미디어를 사용하여 웨이퍼를 처리합니다. 연삭 공정은 모듈 식이며, 다양한 유형의 연마 공정을 허용합니다. 그 결과 "웨이퍼 '의 마모 와 눈물 이 줄어든 것 과 더불어 일관성 있는 표면 마감 이 있게 된다. 5A (Advanced Lapping Tool) 도 갖추고 있으며, 이 도구는 연마제 페이스트를 사용하여 웨이퍼의 표면을 더욱 구체화합니다. 이를 통해 웨이퍼는 높은 균일성 및 표면 거칠기 값을 달성 할 수 있습니다. 이 자산에는 빠른 패스 (Quick-pass) 라는 특수 연마 응용 프로그램을 사용하는 연마 모델도 있습니다. 이것은 웨이퍼 표면에 매우 광택있는 마무리를 제공하는 데 사용됩니다. VOUMARD 5A (Voumard 5A) 는 매우 효율적이고 정밀한 장비로, 단기간에 고품질 장치를 생산할 수 있습니다. 또한 시간, 유지 보수, 에너지 소비를 줄일 수 있도록 설계되어 전체 비용을 절감할 수 있도록 설계되었습니다. 이 모든 기능의 조합으로 5A는 MEMS, SOI, BiCMOS 및 ASIC 장치 생산에 이상적인 선택입니다.
아직 리뷰가 없습니다