판매용 중고 VEECO / ADVANCED IMAGING Robo 4 #9241333
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VEECO/ADVANCED IMAGING ROBO 4는 최첨단 웨이퍼 그라인딩, 랩핑 및 연마 장비로, 웨이퍼 원거리 다이빙, 프로세싱 및 연마에 대한 심층 이미징 어플리케이션의 가장 엄격한 요구 사항을 충족하도록 설계되었습니다. 즉, 쉽게 구성할 수 있는 인터페이스 (interface) 의 도움을 받아 모든 운영 프로세스에 맞게 사용자 정의할 수 있는 모듈식 시스템입니다. VEECO Robo 4는 속도, 압력, 재료 제거 및 프로세스 모니터링과 같은 프로세스 매개변수를 월등히 제어하도록 설계되었습니다. 강력한 5 축 모션 컨트롤러와 5 개의 다른 로터가있는 고속 멀티 축 모션 유닛 (Multi-Axis Motion Unit) 을 갖추고 있어 정확한 프로세스 제어가 가능합니다. 이 시스템에는 웨이퍼의 자동 CNC 로드 및 언로드, 웨이퍼 정렬 및 백사이드 클리닝 기능이 포함됩니다. 또한 프로세스 내 및/또는 연마 후 웨이퍼 처리를위한 프로그래밍 가능한 Z축 단계도 포함합니다. 고급 이미징 로보 4 (ADVANCED IMAGING Robo 4) 는 열적, 기계적, 화학적 손상으로부터 웨이퍼를 보호하면서 뛰어난 정확성, 정확성 및 반복성을 제공하여 뛰어난 프로세스 견고성을 제공합니다. 로보 4 (Robo 4) 의 기계적 설계는 프로세스 환경의 최고 수준의 정확성과 안정성을 보장합니다. 프로그램 가능한 압력 조정 및 공기 흐름 제한 제어 (air flow-limit control) 는 미디어 선택 및 연삭 역학에 최대 유연성을 제공합니다. VEECO/ADVANCED IMAGING ROBO 4 는 또한 탁월한 프로세스 제어를 제공하여, 사용자는 모든 프로세스 매개변수를 실시간으로 모니터링하고 조정할 수 있습니다. 프로세스 내 모니터링 도구를 사용하면 미디어 제거, 그라인딩 압력, 서피스 마무리 (surface finish) 와 같은 프로세스 매개변수에 대한 센서리스 (sensorless) 실시간 제어가 가능합니다. 이 자산은 온도 컨트롤러 (temperature controller) 와 환경 필터 (environmental filter) 로 열, 기계 및 화학적 손상을 방지합니다. VEECO Robo 4는 웨이퍼 그라인딩, 랩핑 및 연마 어플리케이션에 탁월한 성능과 안정성을 제공합니다. 고급 자동화, 탁월한 프로세스 제어, 일관된 품질, 대용량 생산 및 반복 가능한 프로세스에 적합합니다. 이 모델은 웨이퍼 그라인딩 (wafer grinding), 랩핑 (lapping), 연마 (polishing) 등 가장 까다로운 심층 이미징 프로세스에 완벽한 선택입니다.
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