판매용 중고 TRIPET MAR 200 #9069646
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ID: 9069646
Internal grinding machine
Max. internal grinding diameter: 50 mm
Min. internal grinding diameter: 1.0 mm
Grinding depth: 200 mm
Centre height: 132 mm
Workpiece spindle speeds:50 rpm to 1500 rpm
Max. angle: 90 °
Possible grinding-spindle speeds: 9000 rpm to 70000 rpm
Table speeds:stepless up to 10.00 m/min
Voltage: 50 Hz 3x 380 Volt
Workpiece spindle motor: 0.80 kW
Drive for internal grinding spindle: 3.0 kW.
TRIPET MAR 200은 고급 고정밀 웨이퍼 그라인딩, 랩핑 및 연마 장비입니다. 반도체 산업을위한 웨이퍼의 연삭 및 연마를 위해 특별히 설계되었습니다. 이 시스템은 최고 수준의 정밀도 및 품질을 보장하는 고급 초소형 (Ultra Smooth) 작동을 제공합니다. 이 기계는 2 단계 연삭 및 연마 공정을 사용하며, 두 공정 모두 단일, 고 토크 전기 모터에 의해 구동됩니다. 첫 번째 단계 는 "다이아몬드 '연삭" 휠' 을 사용 하여 "웨이퍼 '표면 에서 굴 과 기타 불규칙 을 제거 하는 연삭 작업 이다. 이 프로세스는 미크론 수준의 마무리를 달성하여 결함이 없는 평평한 표면을 만듭니다. 두 번째 단계는 연마 작업 (polishing operation) 으로, 다이아몬드 연마 휠을 사용하여 웨이퍼 표면에서 짝수, 거울 같은 마무리를 달성합니다. 3 월 200 일 (현지시각) 은 완전 자동화된 단위로, 장기간 무인 실행이 가능합니다. 운영자를 가능한 위험으로부터 보호하기 위해 내장 된 안전 기능이 특징입니다. 이 기계는 또한 고급 제어기 (Advanced Control Machine) 를 장착하여 사용자가 연삭 및 연마 진행을 모니터링 할 수 있습니다. 시속 500 웨이퍼 (wafer) 까지 갈아서 연마 할 수 있어 대용량 생산에 이상적인 솔루션이다. 이 도구는 3mm ~ 20mm 범위의 다양한 웨이퍼 크기와 두께를 처리하도록 설계되었습니다. 또한 최적의 연삭 및 연마 성능을 보장하기 위해 냉각 에셋이 장착되어 있습니다. 또한, 웨이퍼를 10 미크론 미만의 내도로 분쇄 할 수 있습니다. TRIPET MAR 200은 유지 보수가 거의 필요하지 않으며 작동하기 쉽습니다. 또한 에너지 효율성이 높아 환경 친화적 인 옵션입니다. 이 모델은 반도체 업계에 이상적인 솔루션으로, 연삭 (grinding) 과 연마 (polishing) 작업에 최고 수준의 정밀도와 품질을 제공합니다.
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