판매용 중고 STUDER RHU 400 #9066964

STUDER RHU 400은 웨이퍼 층에서 우수한 평면 화 및 CTE (Coefficient of Thermal Expansion) 변형을 생성하도록 설계된 차세대 웨이퍼 그라인딩, 랩핑 및 연마 장비입니다. 이 시스템은 세라믹 코팅 (ceramic-coated) 연마판을 사용하여 높은 수준의 평면 화로 뛰어난 표면 마무리를 보장합니다. RHU 400에는 자동 작동을 위해 고급 컴퓨터 제어 장치 (Advanced Computer Control Unit) 가 장착되어 있으므로 원하는 CTE 감소 및 표면 마무리에 따라 정확한 연삭, 랩핑 및 연마 주기를 설정할 수 있습니다. 기계의 600mm 직경 웨이퍼 홀더 (wafer holder) 는 전체 연삭, 랩핑 및 연마 과정에서 웨이퍼를 균일하게 평평하게 유지하도록 설계되었으며, 균일 성을 유지하고 손상을 방지하기위한 독특한 기압 기능이 있습니다. 이 도구는 또한 정확도 (accuracy) 와 속도 (speed) 를 동시에 조절하는 서보 (servo) 컨트롤이 장착되어 있기 때문에 매우 다양한 웨이퍼 두께를 처리 할 수 있습니다. STUDER RHU 400은 웨이퍼에서 불순물을 제거하기위한 자동 Chem-scrubber를 갖추고 있습니다. 또한이 자산에는 연마 디스크, 피스톤 랩핑, 브러시, 스테인리스 스틸 그리드, 알루미늄 슬러리 플레이트 등 5 가지 연마 도구가 장착되어 있습니다. 이러한 도구는 최고의 표면 마무리 및 평면 화를 달성하도록 설계되었습니다. RHU 400에는 또한 자동 센서 건 (Auto Sensor Gun) 이 장착되어 있으며, 이는 전체 연삭, 랩핑 및 연마 프로세스를 모니터링하기위한 고급 데이터 수집 장치입니다. 이 디바이스는 모든 사이클 시간을 기록하고 SPC (Statistical Process Control) 를 자동화하여 품질 제어를 향상시킵니다. STUDER RHU 400은 시장에서 사용할 수있는 가장 고급적이고 안정적인 웨이퍼 그라인딩, 랩핑 및 연마 시스템 중 하나입니다. CTE 감축 및 표면 마무리 (surface finish) 기능을 제공하며 프로세스 제어 및 품질 보장에 필수적인 데이터를 제공합니다. 오토 센서 (Auto-sensor) 기술과 5 개의 연마 도구로, 이 모델은 우수한 평면을 필요로 하는 대규모 웨이퍼 제작 어플리케이션에 적합합니다.