판매용 중고 STRUERS RotoPol 35 / RotoForce 4 #9059386
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ID: 9059386
Semi-automatic wet grinders / polishers
Includes heads and Rotocom-Multidoser attachments.
STRUERS RotoPol 35/RotoForce 4는 운영자에게 일관되고 정확한 표면 마무리 및 개선 된 처리량을 제공하는 웨이퍼 그라인딩, 랩핑 및 연마 장비입니다. 이 시스템은 반도체, MEMS, 태양광 시장의 다양한 저용량 (low-to-mid-volume) 어플리케이션을 위해 설계되었습니다. 여기에는 엄격한 공차와 최적화된 프로세스 속도가 운영 성공에 중요합니다. x-y 더블 노브 (x-y double-knob) 제어 테이블과 최대 250mm 웨이퍼를 수용 할 수있는 척의 고도 조정이 장착 된 자동 장치입니다. 기계적 전기 설계를 통해 최대 12 개의 웨이퍼 레벨 프로세스 단계에서 일관되고 제어 된 단계별 연삭, 랩핑, 연마 및 최종 연마가 가능합니다. RotoPol 35/RotoForce 4에는 세로 테이블 드라이브, 각각의 공구 캐리어가 포함 된 연마 패드 홀더 도구, 공압 작동 상단 도구 및 프로그래밍 가능한 프로세스 매개 변수 설정이 포함됩니다. 종단 테이블 드라이브는 최대 5000 RPM까지 작동할 수 있으며, 사용이 간편한 내장 컴퓨터 인터페이스 (Bist-In Computer Interface) 를 통해 제어됩니다. 즉, 시스템 매개변수를 설정하여 운영 성능을 일관되게 조정할 수 있습니다. 연마제 패드 홀더 툴 캐리어는 금속과 폴리머 모두에 대해 1 ~ 3 개의 패드 홀더를 보유하여 웨이퍼 처리의 유연성을 향상시킵니다. 또한 공압-동작 상단 도구 (pneumatically-actuated top tool) 를 갖추고 있으며 최대 10 레벨의 중재 모터를 제공 할 수 있으며, 여러 레벨의 연마제 및 연산이 필요한 프로세스 프로그램 단계를 구성할 수 있습니다. STRUERS RotoPol 35/RotoForce 4는 또한 편리한 프로세스 관리자를 통해 운영자가 처리 명령, 프로세스 레시피 및 기계의 실시간 상태를 저장할 수 있습니다. 이 기계는 커스터마이징이 가능하며, 로보틱 핸들러 (robotic handler), 측정 도구 (measuring tools) 와 같은 다른 자동 장비 (automated equipment) 와 통합되어 기존의 자동 생산 라인에 통합 할 수 있습니다. 또한 사용자에게 친숙한 인터페이스를 통해 운영자는 스핀들 속도, 압력, 온도 등의 프로세스 제어 매개변수를 조정할 수 있습니다. 전반적으로 RotoPol 35/RotoForce 4는 자동화된 사용자 친화적 인 웨이퍼 그라인딩, 랩핑 및 연마 머신으로, 비용 효율적인 자동 생산 라인에서 높은 공차 가공소재를 일관되게 생산할 수 있습니다. 유연성, 정확성 및 서비스 기능을 제공합니다.
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