판매용 중고 STRASBAUGH RGDE-4 #9045668

STRASBAUGH RGDE-4
ID: 9045668
웨이퍼 크기: 8"-10"
Polisher, 8"-10" (4) Spindle.
STRASBAUGH RGDE-4는 매우 매끄럽고 평평한 웨이퍼 생산을 위해 설계된 완전 자동화 된 웨이퍼 그라인딩, 랩핑 및 연마 장비입니다. 이 시스템은 실리콘, 유리, 쿼츠, 하드 디스크 등과 같은 다양한 기판 재료를 연삭, 랩핑, 연마 할 수 있습니다. 견고성 강화 (rugged construction) 를 특징으로하며 < 1nm Ra 이하에서 일관된 표면 마무리를 달성하는 데 도움이 되는 조정 가능한 프로세스 매개변수를 사용합니다. RGDE-4 (RGDE-4) 는 커브 그라인드 경로를 따르는 행성 그라인딩 휠 (grinding wheel) 을 사용하여 넓은 웨이퍼 크기 영역에서 균일 한 표면 마무리를 보장합니다. 휠은 정확한 제어 및 속도를 위해 고정밀 서보 모터에 의해 구동됩니다. 이 장치에는 기판을 고정하고 뒤틀기를 방지하는 웨이퍼 홀더가 포함됩니다. 또한 청소 시간을 줄이기 위해 통합 wringer arm이 장착되어 있습니다. 제어판에는 쉽게 작동할 수 있도록 직관적인 GUI (그래픽 사용자 인터페이스) 가 있습니다. 이 기계는 다이아몬드 그라인딩 휠, 랩핑 디스크, 연마 천, 화학 슬러리 등 다양한 소모품으로 작동합니다. 또한 오염 수준이 낮은 고진공 펌프 기능으로 설계되었습니다. STRASBAUGH RGDE-4는 고품질 웨이퍼 표면 마무리를 달성하기위한 안정적이고, 효율적이며, 비용 효율적인 도구입니다.
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