판매용 중고 STRASBAUGH Planarizer #9197592

STRASBAUGH Planarizer는 고성능 웨이퍼 평면 화와 표면 품질을 제공하도록 설계된 고급 웨이퍼 그라인딩, 랩핑 및 연마 장비입니다. 이 시스템은 다중 연삭 및 연마 스테이션을 사용하여 산화물, 질화물, 폴리 실리콘, 텅스텐, 금속 및 기타 특수 구조물과 같은 장치 층의 표면 품질을 향상시킵니다. 완벽한 맞춤형 제어 장치 (Fully-Customizable Control Unit) 를 통해 On-the-fly 사용자 정의를 통해 기판 요구 사항을 충족하고 다양한 어플리케이션에 적합한 기판을 만들 수 있습니다. Planarizer의 주요 구성 요소에는 균일하게 균형 잡힌 완전 밀봉 서브 플래튼 머신이 포함됩니다. 이 동적 서브 플래튼 (dynamic sub-platen) 도구는 여러 개의 유연한 공기 실린더를 사용하여 연삭 발자국 전체에 연삭 및 연마 압력을 고정시키고 균등하게 분배하며 연삭 및 연마 주기 전체에 일관되게 분배합니다. 플래튼 평평 (platen flatness), 연삭 압력 (grinding pressure), 연삭 및 연마 일관성 (grinding and polishing consistency) 과 같은 공정 매개변수를 월등히 제어하여 우수한 마무리 웨이퍼를 만듭니다. 기질은 최적화되고 자동화 된 fiducial recognition robotics에서 프로세스의 연삭 및 연마 단계로 이동합니다. 특유의 척 댐핑 에셋 (chuck dampening asset) 은 전체 기판 표면에 연삭 및 연마 압력을 균등하게 분배하는 한편, 좌굴이나 고르지 않은 랩핑 압력으로 인해 마무리에서 잠재적 인 불완전성을 제거하도록 설계되었습니다. 연삭 및 연마 (grinding and polishing) 는 닫힌 루프 피드백 모델에 의해 제어되어 프로세스 중 압력 및 프로세스 매개변수를 정확하게 모니터링합니다. STRASBAUGH Planarizer는 또한 완성 된 기판 표면의 검증을위한 고해상도 광학 영상 장비를 갖추고 있습니다. 이 시스템은 스테레오-현미경과 특허받은 밝은 필드/다크 필드 이미징 기술을 사용하여 스크래치, 비 균일성, 스텝 높이, 두께, 평판 및 기타 고급 표면 거친 매개 변수를 포함한 다양한 기능에 대한 프로세스 내 이미징 및 검증을 제공합니다. 플라나라이저 (Planarizer) 는 애플리케이션별 프로세스 레시피 및 요구 사항을 충족하는 맞춤형 구성을 갖춘 다양한 스퍼터링 (sputtering) 및 단면 연마 솔루션을 제공합니다. 특허받은 테이블 제어 (table control) 와 자동화된 fiducial recognition robotic 기술로 인해 새로운 프로세스 레시피를 빠르게 구현할 수있는 기능으로 설계되었습니다. 이러한 기술의 조합을 통해 STRASBAUGH Planarizer는 다양한 연삭 및 연마 요구를 위해 배치 될 수 있습니다.