판매용 중고 STRASBAUGH nTrepid 6EH #9239635

STRASBAUGH nTrepid 6EH는 뛰어난 웨이퍼 표면 마무리 품질 및 특별한 프로세스 제어 기능을 제공하기 위해 특별히 설계된 고성능 웨이퍼 그라인딩, 랩핑 및 연마 장비입니다. 반도체 장치 제작의 엄격한 요구 사항을 충족하기 위해 설계된 nTrepid 6EH 시스템은 정밀도, 유연성, 사용 편의성을 결합하여 깨끗하고 결함이 없는 표면, 엄격한 프로세스 제어를 제공합니다. STRASBAUGH nTrepid 6EH는 최신 마이크로 연마 (micro-abrasive) 기술을 사용하여 다양한 웨이퍼 표면을 정확하게 프로파일하고 준비하도록 설계되었습니다. 여기에는 모든 웨이퍼 그라인딩 및 랩핑 프로세스를 지원하는 대규모 프로세스 창이 포함됩니다. 연삭/랩 작업은 패드 표면의 부담을 최소화하면서 깨끗한 기판 및 공정 제어를 보장합니다. 또한, 특정 디바이스 애플리케이션에 적합한 다양한 프로세스 기술을 사용할 수 있습니다. NTrepid 6EH에는 25 ~ 500jm 범위의 전환 단계가 가능한 자동, 고속, 다축 연삭 도구 헤드가 포함 된 다양한 맞춤형 프로세스 하드웨어가 장착되어 있습니다. 이 기계에는 프로세스 매개변수를 정확하게 달성 및 검증하기 위해 이중 주파수, 유체 보조 연마 장치 (dual-frequency, fluid-assisted polishing unit) 가 장착되어 있습니다. STRASBAUGH nTrepid 6EH는 고급 이미지 처리 기능을 갖춘 전용 CCD 카메라와 함께 제공됩니다. 이를 통해 사용자는 프로세스를 실시간으로 모니터링하고, 최적의 서피스 마무리 (surface finish) 품질을 위해 매개변수를 동적으로 조정할 수 있습니다. 이 카메라에는 프로세스 전반에 걸쳐 표면 결함을 감지하도록 설계된 일련의 상황 분석 (siturational analysis) 알고리즘이 장착되어 있습니다. 따라서 사용자가 프로세스를 모니터링하여 프로세스 드리프트를 방지하고 웨이퍼 (wafer) 손상을 방지할 수 있습니다. 간단한 탐색 표시/제어 환경 (분석 소프트웨어와 통합) 을 통해 정확한 문서와 사후 처리를 수행할 수 있습니다. 최적의 운영 제어 및 프로세스 잠금을 제공하기 위해 nTrepid 6EH에는 프로시저 프로그래밍 및 프로세스 로깅 기능이 제공됩니다. 이 시스템은 또한 고객을 위해 원격 액세스를 제공하는 포괄적인 관리 툴을 지원합니다. 이를 통해 고객은 공구 가용성과 프로세스 스케줄링, 추적, 관리 등 프로세스를 완전히 제어할 수 있습니다. STRASBAUGH nTrepid 6EH는 또한 데이터 수집 시스템에 완전히 통합되어 상세한 품질 관리 분석을 보장합니다. 결론적으로, nTrepid 6EH는 고급 고성능 웨이퍼 그라인딩, 랩핑 및 연마 자산으로, 뛰어난 웨이퍼 표면 마무리 품질, 정확한 프로세스 제어 기능을 제공합니다. 이 기계는 다양한 맞춤형 프로세스 하드웨어 (custom-built process hardware) 와 최적의 운영 제어 및 프로세스 잠금을 위해 설계된 시스템을 갖추고 있습니다. 또한 포괄적인 관리 모델에 통합되어 사용 편의성과 프로세스 제어를 극대화할 수 있습니다 (영문).