판매용 중고 STRASBAUGH CCR-DC1 #9203073

STRASBAUGH CCR-DC1은 넓은 영역 웨이퍼에서 초소형 표면 생산을 위해 설계된 매우 정밀하고 최첨단 웨이퍼 그라인딩, 랩핑 및 연마 시스템입니다. CCR-DC1은 반도체 및 고급 웨이퍼 제조 시장의 산업 표준입니다. STRASBAUGH CCR-DC1은 프로세스 매개 변수, 최고 수준의 정확도 및 웨이퍼 청소를 완전히 제어합니다. 플래튼 스테이지, 하중 테이블, 랩핑/연마 챔버 등 3 가지 주요 구성 요소로 구성됩니다. 플래튼 스테이지 (platen stage) 는 웨이퍼를 로드하고 정렬하는 데 사용되며, 로드 테이블은 웨이퍼와 연삭/연마 미디어 사이의 최대 표면 접촉을 보장합니다. 랩핑/연마 챔버 (lapping/polishing chamber) 는 웨이퍼의 연삭 및 연마를위한 통제 된 환경을 제공합니다. CCR-DC1은 다이아몬드 연삭 및 연마 및 전기 화학 연마라는 두 가지 연삭/연마 기술을 사용합니다. 다이아몬드 연삭 및 연마는 다이아몬드 코팅 연마 휠을 사용하여 웨이퍼 표면을 갈고 연마합니다. 배치 프로세스이며, 일치하지 않는 도핑 불균일성을 달성 할 수 있습니다. 전기 화학 연마 (electrochemical polishing) 는 웨이퍼 표면에서 금속 원자를 제거하기 위해 전기 분해 용액을 사용하며, 매우 매끄러운 표면을 생성합니다. 이 시스템은 또한 사용자에게 각 사용자의 요구 사항에 가장 적합한 다양한 기능 (기능) 과 기능을 제공합니다. 충돌 탐지 (crash detection), 재료 모니터링 (material monitoring) 및 고급 클리닝 주기 (advanced cleaning cycle) 와 같은 기능을 사용하여 최고 수준의 생산을 보장합니다. STRASBAUGH CCR-DC1은 또한 웨이퍼 표면 마무리를 최적화하기 위해 온도, 압력, 시간과 같은 주요 프로세스 매개변수를 제어 할 수 있습니다. CCR-DC1은 고급 소프트웨어, 완벽한 정확성, 정확한 제어, 뛰어난 청결성 (cleaness) 을 제공하기 때문에 까다로운 웨이퍼 선명화 어플리케이션을 위한 완벽한 시스템입니다. 다양한 응용 프로그램을 처리하도록 설계되었으며, 표면 마무리 (surface finish) 및 웨이퍼 (wafer) 특성 측면에서 일관된 결과를 제공합니다.