판매용 중고 STRASBAUGH 7X #9280144

STRASBAUGH 7X는 고품질의 결함이 없는 웨이퍼 표면을 생산하도록 설계된 웨이퍼 그라인딩, 랩핑 및 연마 장비입니다. 이 시스템은 Si, AlN, GaAs, SiC, 사파이어, 페라이트, 융합 실리카 및 기타 도자기와 같은 다양한 기판을 연마, 랩핑 및 연마하는 데 적합합니다. 광학 통신, 태양 전지, 전력 증폭기, MEMS 등과 같은 응용 분야에 이상적인 선택입니다. 7X 장치에는 환경 제어 컨디션 챔버 (condition chamber) 가 장착되어 있으며, 이는 좋은 기판 표면 마무리 및 반복 성을 보장하기 위해 웨이퍼 준비를 위해 설계되었습니다. 이 기계는 또한 0.02 µm 해상도로 구동 할 수있는 고해상도 쿼츠 스텝 테이블을 갖추고 있습니다. 저입자 오염을 보장하기 위해 테이블에 다중 고정 장치 (multiple fixturing mechanism) 가 통합되어 홀더를 홍채로드/언로드 암에 대해 정확하게 정렬 할 수 있습니다. 받침대는 다양한 프로세스 기능을 제공하기 위해 설계된 고정밀, 3 축 선형 그라인더/래퍼입니다. C3000 컨트롤러의 독점 STRASBAUGH 개발 소프트웨어를 사용하면 정확한 웨이퍼 로딩, 랩핑 및 연마 프로세스가 가능합니다. 대형 작업 봉투는 2 "~ 8" 의 웨이퍼 형식을 처리할 수 있는 유연성을 제공합니다. 또한 STRASBAUGH 7X (Automated Inspection Asset) 는 프로세스 중 웨이퍼의 잠재적 결함을 식별하도록 설계된 자동 검사 에셋을 제공합니다. 이 과정에서 깨끗함을 유지하기 위해, 7X에는 필름 잔류 (film residue) 나 오염 물질이 웨이퍼 챔버 (wafer chamber) 에 들어가지 않도록 자동 제거 모델이 장착되어 있습니다. 이 장비에는 대용량 하이드로 사이클론 분리기 (hydrocyclone separator) 가 있는데, 이는 공정 영역에서 큰 입자와 슬러리 슬러지를 제거하는 데 사용됩니다. 또한, STRASBAUGH 7X에는 자동 청소 메커니즘이 장착되어 각 처리 주기를 엄격하게 제어하여 공기 입자 수를 최소화합니다. 그라인딩 및 랩핑 매개변수를 제어하는 것 외에도, 시스템은 닫힌 루프 폐쇄 루프 제어 (closed-loop closed-loop control) 및 가스 흐름 (gas-flow) 기술을 모두 사용하여 표면 마무리 및 형상 정확도를 향상시킵니다. 전반적으로, 7X는 반복 가능한 고품질 결과를 위해 설계된 효과적인 웨이퍼 그라인딩, 랩핑 및 연마 장치입니다. 프로세스 제어, 자동화, 환경 제어 챔버 (Environmental Controlled Chamber) 는 광범위한 애플리케이션의 정확한 요구에 적합합니다.