판매용 중고 STRASBAUGH 7AF #9067726

STRASBAUGH 7AF는 웨이퍼, MEMS 및 광전자 산업에 사용하도록 설계된 정밀 웨이퍼 그라인딩, 랩핑 및 연마 기계입니다. 랩 핑 (lapping), 그라인딩 (grinding), 연마 (polishing) 와 같은 웨이퍼 제조 공정에 뛰어난 표면 마무리, 미세한 평면도 및 높은 정밀도를 제공하도록 설계되었습니다. STRASBAUGH 7 AF는 부드럽고 정확한 작동을 보장하기 위해 모터 드라이브 장비 (motor drive) 장비와 모듈식 모션 제어 플랫폼으로 구동됩니다. 이 드라이브 시스템은 일정한 힘 기술과 닫힌 루프 위치 제어 장치 (closed-loop position control unit) 를 갖추고 있으며, 이를 통해 운영자는 독립 축 이동 프로파일로 여러 단계를 프로그래밍할 수 있습니다. 7AF에는 선형 모터 (Linear Motor) 가 장착되어 있어 정밀도가 높으며 최대 200mm 직경의 웨이퍼 크기 범위를 수용합니다. 이것은 6 축 동작 제어 머신과 결합하여 매우 정확한 서피스 마무리 결과를 만듭니다. 연삭, 랩핑 및 연마 프로세스를 완전히 자동화하기 위해 다양한 프로세스 제어 소프트웨어가 7 AF (7 AF) 로 제공됩니다. STRASBAUGH 7AF는 더블 엔드 그라인딩 휠이있는 고속 스핀들 모터로 구성됩니다. 이 고속 스핀들 모터 (spindle motor) 는 빠른 재고 제거를 위해 설계되어 연삭 속도가 빠르고 평평한 표면 마무리를 제공합니다. 그라인딩 공구는 최적의 그라인딩 성능을 보장하기 위해 웨이퍼 크기 (wafer size), 회전 속도 (rotation speed) 및 재료를 적절히 조합하도록 설계되었습니다. STRASBAUGH 7 AF에는 웨이퍼 표면을 가로 질러 균일 한 조명을 보장하는 통합 링 조명 도구가 있습니다. 이 에셋은 높은 정확도 깊이 검출 모델 (high accuracy depth detection model) 과 결합하여 연삭 및 연마 작업 중 웨이퍼의 정확한 위치를 보장합니다. 웨이퍼 그라인딩 외에도 7AF는 랩핑 및 연마 모두에 대한 자동화를 제공합니다. 랩은 벨트 전송 장비로 구동되는 단단한 볼록 (convex) 모양의 디스크로 구성됩니다. 연마 설정에는 벨트 구동 평면 연마 디스크, 연마 솔루션, 사용된 솔루션 및 슬러리를 포착하기위한 연마 복구 시스템 (polishing recovery system) 이 포함됩니다. 전체 7 AF는 정확한 제어 및 연삭, 랩핑 및 연마 작업에 대한 높은 수준의 정확성을 제공합니다. 단일 단위 연산자 (Single Unit Operator) 는 뛰어난 표면 마무리와 평탄함을 얻을 수 있으며, 광범위한 재료 및 웨이퍼 크기에서 높은 정밀도를 처리 할 수 있습니다.