판매용 중고 STRASBAUGH 7AA #9124369

STRASBAUGH 7AA는 다양한 반도체, MEMS, 광전자 및 관련 장치의 최적의 표면 마무리를 위해 설계된 정밀 웨이퍼 그라인딩, 랩핑 및 연마 장비입니다. 특정 프로세스 요구사항에 따라 달라지는 여러 가지 구성으로 제공됩니다 (영문). 시스템은 직경 100mm ~ 300mm 범위의 최대 8 개의 웨이퍼를 수용 할 수있는 웨이퍼 홀더로 시작합니다. 여기에는 여러 프로세스 시퀀스를 실행할 수있는 인체 공학적으로 설계된 운영자 인터페이스가 있습니다. 웨이퍼 홀더에는 특허를받은 "플로팅 (floating)" 웨이퍼 마운트 장치가 장착되어 있으며, 스택의 모든 웨이퍼에서 안정적이고 반복 가능한 결과를 제공합니다. 생산 처리량 및 프로세스 충실도를 극대화하기 위해 STRASBAUGH 7 AA는 그라인딩 (grinding) 및 랩핑 (lapping) 작업의 조합을 사용합니다. 그라인딩 프로세스는 기계의 2 개의 웨이퍼 회전 축을 통해 수행되므로 3 개의 동시 작업이 가능합니다. 윗면 회전 "다이아몬드 '원반 은" 웨이퍼' 의 표면 을 원하는 모양 으로 갈아 넣는다. 진공 "엘리베이터 '로 구성 된 두 번째 회전 축 은" 와퍼' 를 "홀더 '로부터 회수 하여 일련 의 인라인' 연삭" 스테이션 '을 통해 이동 시킨다. 웨이퍼 (wafer) 가 각 스테이션을 통과하면 특정 웨이퍼 요구 사항에 맞게 설정이 변경됩니다. 랩핑 프로세스의 경우 7AA는 단면 플래튼 장치를 사용합니다. 이 장치에는 다이아몬드 화합물, 탄화 붕소, 유리 구슬, 탄화 실리콘 등과 같은 랩핑 재료가 필요합니다. "플래튼 '장치 에는" 와퍼' 와 "랩핑 '판 사이 의 최적 의 접촉 압력 을 제공 할 수 있도록 조정 할 수 있는" 로울러' 가 들어 있다. 연삭 및 랩 작업 후, 3 개의 들여진 연소 도구 또는 로봇 암 장착 연마 패드를 사용하여 7 개의 AA 연마 활동이 달성됩니다. 연소 자산은 평면 화, 베벨 링, 모따기, 크로스 해치 등과 같은 광범위한 연마 작업을 위해 설계된 소형 로봇 암 모델입니다. 3 개의 들여쓰기 패드는 마이크로 (micro-) 및 매크로 (macro-polishing) 활동을 위해 설계되었으며, 패드가 연마 활동 중에 웨이퍼와의 접촉을 유지할 수있는 특허를받은 안티 슬립 (anti-slip) 재료를 특징으로합니다. STRASBAUGH 7AA는 또한 유지 보수가 적은 작업을 위해 설계되었습니다. 반투명 커버는 외부 환경 조건에서 장비를 보호하고 먼지 오염을 최소화합니다. 내장된 "마이크로프로세서 (microprocessor)" 를 프로그래밍하여 미리 정해진 프로세스를 수행할 수 있으므로 수작업 (manual operation) 이 필요 없으며 여러 프로덕션에서 반복성이 보장됩니다. STRASBAUGH 7 AA는 또한 처리 후 린스 및 DI 물을위한 peristaltic 펌프 또는 포함 된 공정의 HEPA 필터와 같은 다양한 선택적 액세서리를 갖추고 있습니다.