판매용 중고 STRASBAUGH 7AA #39287

STRASBAUGH 7AA
ID: 39287
웨이퍼 크기: 3"-6"
Fully automated wafer grinder / back grinder, 3"-6" Specifications: High precision, low stress vertical in-feed grinding method For semiconductor materials and fragile materials Capable of single and two-step grinding processes at high throughput.
STRASBAUGH 7AA (STRASBAUGH 7AA) 는 가장 까다로운 씬 웨이퍼 레벨 운영을 위한 효율적이고 정확하며 안정적인 솔루션을 제공하도록 설계된 고성능 웨이퍼 그라인딩, 랩핑, 다듬기 장비입니다. 이 기계는 회전 가능한 턴테이블 디자인을 특징으로하며, 최대 150 개의 웨이퍼를 동시에 연마, 랩핑 및 연마 할 수 있습니다. 이 플랫폼에는 각각 127mm 휠 직경과 50 ~ 400 rpm의 가변 휠 속도 범위가있는 한 쌍의 메인 그라인딩 및 랩핑 헤드가 장착되어 있습니다. 또한, 한 쌍의 프리 그라인더에는 50mm 휠과 400 ~ 5000 rpm의 가변 휠 속도가 장착되어 있습니다. 견고한 듀얼 헤드 (dual-head) 설정은 생산량을 극대화하기 위해 높은 부분 간 및 부분 내 반복성을 보장합니다. 턴테이블에는 자동 투여 시스템 (automatic dosing system) 과 연마 플래튼 (platen) 이 있으며 가변 피치 연마 헤드가 있습니다. 각 작업 스테이션은 조정 가능한 드래그 포스 (drag force) 를 가진 광학적으로 결합 된 드래그 유닛 (optically-coupled drag unit) 으로 구성되며, 정확한 웨이퍼 레벨 형상을 보장하면서 프로세스 매개변수를 정확하게 제어할 수 있습니다. 전체 래스터 패턴을 따라 정밀한 각도 제어 및 연마. 편리한 작업 및 유지 관리를 위해 시스템을 열거나 닫을 수 있습니다. 통합 진공기는 정밀한 연마 (polishing) 를 위해 환경을 세밀하게 제어할 수 있으며, 이는 일관된 작동 및 프로세스 최적화를 위해 조정 될 수 있습니다. STRASBAUGH 7 AA (STRASBAUGH 7 AA) 에는 공정 자동화를 위한 고성능 컴퓨터가 장착되어 있으며, 웨이퍼 연삭, 랩핑 및 연마 공정을 빠르고 정확하게 제어할 수 있습니다. 또한 사용자 친화적이며 직관적인 HMI (Human-Machine Interface) 는 종합적인 도구 제어 및 모니터링 기능을 제공합니다. 이 기계는 IC, CMP, MEMS 및 기타 특수 기술을 포함한 다양한 웨이퍼 레벨 응용 프로그램을 수용하도록 설계되었습니다. 고급 광, 전기 및 열 시스템은 지속적인 프로세스 모니터링 및 수정 조치를 제공하여 프로세스 최적화 (process optimization) 를 보장하고 개선을 실현합니다. 검증된 성능, 유연성 및 정확성으로, 7AA는 고정밀 웨이퍼 그라인딩, 랩핑 및 연마 작업에 이상적인 솔루션입니다. 이 자산은 견고한 생산성 (production-oriented) 플랫폼에서 고도로 균일하고 정확한 웨이퍼를 생산할 수 있는 빠르고 강력한 솔루션을 제공합니다.
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