판매용 중고 STRASBAUGH 7AA #293820763

STRASBAUGH 6DE-DC-4 웨이퍼 연삭, 랩핑 및 연마 장비는 고급 자동 웨이퍼 처리 시스템입니다. 다양한 어플리케이션에 대해 높은 정밀 웨이퍼 그라인딩, 랩핑, 연마 기능을 제공하도록 설계되었습니다. 이 장치는 단면 또는 이중 측면 웨이퍼 그라인딩, 랩핑 및 연마 작업을 처리 할 수 있습니다. 이 기계는 오늘날의 고급 반도체 장치 제조 작업 (Advanced Semiconductor Device Manufacturing) 의 가장 엄격한 요구 사항을 충족하는 광범위한 기능을 제공합니다. 6DE-DC-4는 혁신적인 Diamondoid ™ 특허 다이아몬드 기술을 활용하여 업계 최고의 표면 품질, 탁월한 연삭/랩/연마 성능을 제공합니다. 초고속 스핀들 (spindle) 을 활용하여 부드럽고 균일 한 표면 마무리를 보장합니다. STRASBAUGH 6DE-DC-4는 매우 높은 종횡비로 웨이퍼를 처리 할 때에도 제어, 일관성, 균일 한 표면 마무리를 제공 할 수 있습니다. 고급 6DE-DC-4에는 랩핑 챔버와 연마 챔버의 두 가지 공정 챔버가 있습니다. 랩핑 챔버는 균일하고 반복 가능한 결과를 위해 2 단계 랩핑 프로세스를 제공합니다. 첫 번째 단계는 파퍼 (wafer) 표면에서 큰 결함을 제거하기 위해 거친 랩핑 작업을 수행합니다. 두 번째 단계는 미세 연삭 작업을 수행하며 웨이퍼 크기 제어 (wafer-size control) 및 정밀 서피스 마무리 (precision surface finish) 를 위해 구성됩니다. 연마 챔버 (polishing chamber) 는 효과적이고 다재다능한 제형, 분배 및 슬러리 관리를 제공하여 최상의 연마 결과를 제공합니다. STRASBAUGH 6DE-DC-4 에는 고유한 웨이퍼 로드 (wafer load) 및 언로드 (unload) 툴이 장착되어 있어, 최고 수준의 표면 무결성을 유지하면서 프로세스 챔버에서 웨이퍼가 올바르게 고정되어 있는지 확인합니다. 이 자산에는 원활한 운영 및 정확한 부품 프로세스 제어를 위한 통합 자동화 소프트웨어 (automation software) 도 있습니다. 간편한 설치/운영을 위한 맞춤형 장비 구성, 프로세스 설계 (Process Design) 소프트웨어 등 포괄적인 툴링 모델을 제공합니다. 전반적으로, 6DE-DC-4는 많은 고급 장치 제작 작업에 필수적인 정밀 웨이퍼 그라인딩, 랩핑, 연마 기능을 제공하는 강력한 시스템입니다. 최적의 성능, 고급 프로세스 제어 (Advanced Process Control) 및 고품질 결과를 제공하도록 설계된 다용도 도구입니다.