판매용 중고 STRASBAUGH 6ZR-2 #9221840

STRASBAUGH 6ZR-2는 정밀 반도체 처리에 사용하도록 설계된 고성능 웨이퍼 그라인딩, 랩핑 및 연마 장비입니다. 이 시스템에는 최대 4 개의 웨이퍼를 동시에 정확하게 처리 할 수있는 6 축 로봇 형 플랫폼이 있습니다. 실리콘, 저마늄, 사파이어, 석영 등 모든 웨이퍼 재료를 처리 할 수 있습니다. 6ZR-2 (6ZR-2) 는 다양한 저조도 표면 마감에 랩핑 및 연마 기능을 제공하며, 여러 독점 기술을 활용하여 높은 공정 품질을 보장합니다. 이 장치에는 와퍼의 적재 및 하역을위한 내장 메커니즘을 포함하는 견고한 산업 알루미늄 합금으로 만든 최첨단 로봇 암 (State-of-the-Art Robot Arm) 이 포함되어 있습니다. "로봇 '암 은 고속" 스테퍼 모우터' 에 의해 구동 되는데, 이 "모우터 '는 매우 정확 하고 반복 할 수 있는 움직임 을 제공 하여 신속 하고 정확 한 도구 배치 를 할 수 있다. 암 (arm) 설계는 다양한 웨이퍼 (wafer) 크기와 작업 거리를 수용할 수 있도록 조정이 가능하며, 견고한 구조로 유지 보수가 최소화되어 긴 운영 수명이 가능합니다. STRASBAUGH 6ZR-2 (STRASBAUGH 6ZR-2) 는 또한 강력한 연마 모터를 사용하는데, 여기에는 독특한 가변 속도 제어 및 전자 센서가 장착되어 있어 연마력을 정확하게 제어할 수 있습니다. 이 기능을 사용하면 기계가 높은 수준의 프로세스 균일성을 제공 할 수 있습니다. 공구 (tool) 와 작업 (work) 영역에서 모든 잔해물을 제거하고 랩핑 (lapping) 및 연마 (polishing) 공정의 효율적인 작동을 가능하게하기 위해 고가 진공 펌프가 포함됩니다. 이 도구에는 워크스테이션 다운타임을 줄이기 위해 설계된 독특한 싱크형 (Sink-Type) 연마 헤드도 포함되어 있습니다. 6ZR-2는 다양한 제어 기능을 제공하여 최적의 반복성과 일관성을 보장합니다. 내장형 컨트롤러는 사용자에게 친숙한 그래픽 인터페이스를 제공하여 프로세스 완료 (process completion) 및 프로세스 매개변수 저장 (storage of process parameter) 을 실시간으로 모니터링할 수 있습니다. 또한, 자동 통계 프로세스 제어 (SPC) 분석은 연삭, 랩핑 및 연마 프로세스를 철저하게 제어합니다. STRASBAUGH 6ZR-2는 웨이퍼 그라인딩, 랩핑 및 연마, 정확한 제어, 반복 가능한 결과 및 장기 신뢰성을 제공하는 완벽한 자산 솔루션입니다. 견고한 구성, 고급 기능, 자동 작동을 통해 습식 그라인딩, 건식 랩핑, 연마 등 반도체 어플리케이션을 완벽하게 선택할 수 있습니다. 이 모델은 품질과 정확도가 우수하며, 모든 WF (Wafer Fabrication) 프로세스의 처리량을 높여야 합니다.