판매용 중고 STRASBAUGH 6ZR-1 #9095656

ID: 9095656
Single spindle polisher.
STRASBAUGH 6ZR-1은 다양한 반도체 웨이퍼 처리 응용 분야에 사용되는 웨이퍼 그라인딩, 랩핑 및 연마 장비입니다. 이 시스템은 실리콘, 쿼츠, 사파이어, 기타 광전자 소재 (optoelectronic materials) 와 같은 소재 전반에 걸쳐 까다로운 응용 프로그램에 대해 매우 정밀하고 반복 가능한 성능을 제공합니다. 6ZR-1은 이중 축 설계를 사용하여 중요한 웨이퍼 응용 프로그램의 서피스 마무리, 원형율, 곡률 반지름을 최적화합니다. STRASBAUGH 6ZR-1은 정밀 표면 랩핑 및 연마를 제공하는 한 단계 프로세스입니다. 이 프로세스에는 빠르고 정확하며 정밀도가 높은 웨이퍼 그라인딩 기능을위한 고속 모터 및 기어 박스 (gear box) 가 있습니다. 6ZR-1은 가변 주파수 드라이브 (VFD) 및 가변 경사 설계를 사용하여 다양한 재료를 정확하게 조정합니다. 무거운 의무, 선형 동력, 이중 축 구동 장치는 균일 한 랩핑 및 연마 결과를 가능하게합니다. STRASBAUGH 6ZR-1 기계는 축, 방사형, 평면 등 다양한 플랫 랩핑 동작을 지원하도록 설계되었습니다. 스핀들 (spindle) 과 랩핑 (lapping) 플레이트를 모두 조정할 수 있으므로 다른 재료에 유리한 프로세스 조건을 제공 할 수 있습니다. 랩핑 (lapped) 및 광택 (polished) 웨이퍼 서피스를 검사하는 기능을 제공하는 통합 비전 (integrated vision) 도구와 함께 진행 중인 부품 검사를 사용할 수 있습니다. 6ZR-1 자산은 또한 완벽한 프로세스 자동화를 제공하며, 래핑 및 연마 작업을 위한 제어 및 모니터링 기능이 내장되어 있습니다. 여기에는 자동 중지 및 자동 재설정, 반복 가능한 프로세스 결과에 대한 프로세스 특성, 간격 충돌 보호 등과 같은 기능이 포함됩니다. 전체적으로 STRASBAUGH 6ZR-1은 고정밀도 및 반복 가능한 웨이퍼 그라인딩, 랩핑 및 연마 모델을 제공합니다. 고품질, 안정성, 반복 가능한 결과를 제공하도록 설계되었으며, 요구 사항이 높은 Wafer 어플리케이션을 위한 정확성과 반복 기능을 제공합니다. 6ZR-1은 프로세스 자동화 및 프로세스 내 부품 검사를 포함하여 최적의 결과를 제공하는 1 단계 프로세스를 제공합니다.
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