판매용 중고 STRASBAUGH 6UR-1 #9070478

STRASBAUGH 6UR-1 Wafer Grinding, Lapping & Polishing 장비는 최고 품질의 반복 가능한 결과를 가진 거의 모든 유형의 기판을 전문적으로 처리하는 최첨단 장비입니다. 6UR-1 시스템은 다양한 크기의 와퍼를 연삭, 랩핑 및 연마 할 수있는 완전 자동화 된 플랫폼입니다. 이 장치에는 4 개의 처리 챔버 (processing chamber) 가 있으며, 각 챔버에는 공정에 관계없이 최고 수준의 반복 성을 유지하기 위해 자체 전용 정밀 연삭, 랩핑 및 연마 공구가 장착되어 있습니다. STRASBAUGH 6UR-1은 모놀리식 기판을 포함한 모든 유형의 기판을 정확하게 처리하도록 설계되었습니다. 또는 최대 300mm 웨이퍼, 최대 1 인치 두꺼운 웨이퍼 처리. 6UR-1은 CMP, CMP Chemical-Mechanical Polishing, 반도체 응용 분야를위한 나노 기술, MEM (MicroElectroMechanical Systems) 및 무선 및 통신 구성 요소를위한 고급 처리를 포함하여 광범위한 응용 프로그램을 수행 할 수 있습니다. 모든 STRASBAUGH 6UR-1 자동화 기능은 설정 비용을 줄이고, 운영 효율성을 향상시키며, 프로세스 진동을 제거하도록 설계되었습니다. 6UR-1 기계에는 웨이퍼의 정밀 로딩 및 언로드를 제공하기 위해 로드/언로드 스테이션 (load/unload station) 과 완전히 프로그래밍 가능한 로봇 암 (robotic arm) 이 장착되어 있습니다. "로봇 '은" 와퍼' 를 하중 "스테이션 '에서" 그라인딩 휠' 과 "랩핑 플레이트 '가 서로 다른 형태 의 공정 을 수행 하도록 변경 될 수 있는 4 개 의 처리 실 로 옮기는 데 사용 될 수 있다. 이 도구에는 프로세스 제어 자동화 (automated process control) 를 지원하는 센서가 장착되어 각 프로세스에 대해 최고의 정밀도, 반복성을 제공합니다. STRASBAUGH 6UR-1 자산은 또한 실시간 프로세스 추적 및 분석을 제공하는 자동화된 데이터 획득 기능을 제공합니다. 이를 통해 압력, 물 흐름/온도, 휠/플레이트 RPM 등과 같은 다양한 매개 변수를 사용하여 정확한 품질 제어 및 프로세스 모니터링이 가능합니다. 이렇게 하면 프로세스 변화를 줄이고 스크랩을 최소화할 수 있습니다. 결론적으로 6UR-1 Wafer Grinding, Lapping & Polishing 모델은 수많은 유형의 기판을 처리하기위한 안정적이고 완전한 장비입니다. 자동화된 데이터 획득 (Automated Data Acquisition) 및 로봇 암 (Robotic Arm) 은 정확하고 반복 가능한 결과를 제공하는 한편, 프로세스 모니터링 및 품질 관리 기능을 실시간 피드백으로 제공합니다. 이 시스템에는 4 개의 프로세싱 챔버 (각각 특정 프로세스 전용) 가 장착되어 있으며, 최대 300mm 웨이퍼 (wafer) 를 처리 할 수 있으므로 광범위한 어플리케이션에 최적의 솔루션이 될 수 있습니다.