판매용 중고 STRASBAUGH 6EE #9412701

STRASBAUGH 6EE
ID: 9412701
Polisher, 32", parts system (4) Motors.
STRASBAUGH 6EE는 완전히 자동화되고 프로그래밍 가능한 웨이퍼 그라인딩, 랩핑 및 연마 장비입니다. "와퍼 '는 더 작은" 웨이퍼' 와 "그라인딩 '을 싸는 것 과 더불어 저, 중, 혹은 고 부피" 웨이퍼' 요구 조건 의 미세 한 연마 와 같은 응용 분야 에서의 정밀 연마 에 이상적 이다. 이 고급 시스템 (Advanced System) 은 빠르게 설치될 수 있으며, 대용량 처리량 및 정확도에 대한 지속적으로 증가하는 요구를 충족하도록 설계되었습니다. 이 장치에는 정확하고 반복 가능한 결과를 위해 3축, 컴퓨터 제어 포지셔닝 단계가 있습니다. 인클로즈드 (enclosed) 설계를 통해 애플리케이션에 따라 최대 8 단계의 최적의 그라인딩 및 랩핑이 가능합니다. 연삭 과 연마 과정 의 각 단계 는, 최적의 결과 를 얻기 위해 진공 환경 에서 완성 된다. 이 기계는 또한 균일 한 압력 제어 (pressure control) 를 특징으로하며, 웨이퍼 에지 제어를 포함한 정확한 단계 제어를 가능하게합니다. 개별 프로그래밍 가능한 웨이퍼 홀딩 척 (wafer-holding chuck) 을 사용하면 웨이퍼와 장치를 다양한 모양과 크기로 처리 할 수 있습니다. 또한 주문형 (on demand) 으로 분리할 수 있어 다양한 크기, 유형, 두께를 쉽게 처리할 수 있습니다. 이 공구에는 서피스 마무리 테스터 (surface finish tester) 가 포함되어 표면 마무리와 웨이퍼 두께를 정확하게 측정합니다. 이 자산은 평균 (roughness) 값이 매우 낮고, 반복성이 높은 거친 (roughness) 측정의 일관성을 얻을 수 있습니다. 6EE 는 프로세스 모니터링, 프로세스 제어, 데이터 로깅 인터페이스 등 다른 시스템과 쉽게 통합할 수 있습니다. 또한 웹 사이트로의 데이터 전송, 전자 제품 인쇄, 기타 외부 위치 등 자동화된 포스트 프로세싱을 지원합니다 (영문). 이 모델은 고급 연구/생산 프로세스의 요구를 충족할 수 있도록 설계되었으며, 안정적이고 정확한 결과를 제공합니다. 모듈 식 디자인과 고급 기능을 갖춘 와퍼 그라인딩 (wafer grinding), 랩핑 (lapping), 연마 (polishing) 에 이상적인 장비입니다.
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